北京北方华创微电子装备有限公司岳耀宇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利检测装置和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539561U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422716407.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型检测装置和半导体工艺设备是由岳耀宇;常金梁;周子光;徐文涛;王一凡;郝云鹏;王顺设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种检测装置和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的检测装置用于检测半导体工艺腔室内的基座的安装信息，所述工艺腔室在所述基座的上方具有开口，所述检测装置包括装置本体和至少三个检测件，所述装置本体的外轮廓的形状与所述开口的形状相同，且用于可拆卸地搭接于所述开口处，各所述检测件绕所述装置本体的周向间隔设于所述装置本体，且各所述检测件均具有检测探针，各所述检测探针均穿过所述装置本体，且各所述检测探针均用于与所述基座抵接，以检测抵接处所述基座的高度。上述方案能够解决相关技术涉及的检测基座的工位和水平度的方式容易导致对晶圆加工不良的问题。
本实用新型检测装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种检测装置，用于检测半导体工艺腔室100内的基座130的安装信息，所述工艺腔室100在所述基座130的上方具有开口110，其特征在于，所述检测装置包括装置本体200和至少三个检测件300， 所述装置本体200的外轮廓的形状与所述开口110的形状相同，且用于可拆卸地搭接于所述开口110处，各所述检测件300绕所述装置本体200的周向间隔设于所述装置本体200，且各所述检测件300均具有检测探针310，各所述检测探针310均穿过所述装置本体200，且各所述检测探针310均用于与所述基座130抵接，以检测抵接处所述基座130的高度。
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