北京北方华创微电子装备有限公司张天恒获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利设备前端模块及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422756654.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型设备前端模块及半导体工艺设备是由张天恒;陈齐设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本设备前端模块及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种设备前端模块及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种设备前端模块，包括：前端模块本体、加热装置和调控装置；加热装置设于前端模块本体；调控装置包括过温保护组件、压差检测元件和控制组件；过温保护组件设于加热装置内，用于检测所处环境内的温度；压差检测元件设于加热装置及前端模块本体中的至少一者内，用于检测所处环境内的风速；控制组件与过温保护组件、压差检测元件及加热装置分别电连接，用于在过温保护组件所处环境内温度超过预设温度、以及在压差检测元件所处环境内风速低于预设风速的至少一种情况下，控制加热装置停止加热。本申请能够解决当前设备前端模块容易出现过热而增加火灾风险的问题。
本实用新型设备前端模块及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种设备前端模块，其特征在于，包括：前端模块本体100、加热装置200和调控装置300； 所述加热装置200设于所述前端模块本体100，用于向所述前端模块本体100的内部提供加热气体； 所述调控装置300包括过温保护组件320、控制组件330和压差检测元件341； 所述过温保护组件320设于所述加热装置200内，用于检测所处环境内的温度； 所述压差检测元件341设于所述加热装置200及所述前端模块本体100中的至少一者内，用于检测所处环境内的风速； 所述控制组件330与所述过温保护组件320、所述压差检测元件341及所述加热装置200分别电连接，用于在所述过温保护组件320所处环境内温度超过预设温度、以及在所述压差检测元件341所处环境内风速低于预设风速的至少一种情况下，控制所述加热装置200停止加热。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励