北京北方华创微电子装备有限公司孙鹏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利调整支架及半导体热处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539564U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422837661.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型调整支架及半导体热处理设备是由孙鹏设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本调整支架及半导体热处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种调整支架及半导体热处理设备，调整支架包括固定组件、支撑部、与支撑部底面相连的调节组件和处于压缩状态的弹簧；固定组件与反应腔室的腔壁固定连接；支撑部上形成有与测温装置的部分外表面贴合的弧形面，以用于支撑测温装置；弹簧的两端分别与支撑部底面及固定组件弹性连接；调节组件安装在固定组件上并可相对于固定组件随弹簧变形而升降。采用本实用新型，支撑部与测温装置的接触为面接触，在同等情况下，本实施例中测温装置受到的压强更小，进而减轻了测温装置与支撑部相接触的部位破损的可能性。弹簧具有缓冲作用，支撑部变形时弹簧适应性变形，调节组件随之升降，以利于防止测温装置因支撑部过度挤压而破损。
本实用新型调整支架及半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种调整支架，应用于半导体热处理设备，所述半导体热处理设备包括反应腔室及测温装置，所述测温装置的部分位于所述反应腔室内；其特征在于，所述调整支架包括： 固定组件，所述固定组件用于与所述反应腔室的腔壁固定连接； 支撑部，所述支撑部上形成有弧形面，所述弧形面用于与所述测温装置的部分外表面贴合，以用于支撑所述测温装置； 弹簧，顶端与所述支撑部底面弹性连接、底端与所述固定组件弹性连接，所述弹簧处于压缩状态；以及 调节组件，所述调节组件与所述支撑部底面相连，所述调节组件安装在所述固定组件上并可相对于所述固定组件随所述弹簧变形而上升或下降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励