北京北方华创微电子装备有限公司郭亨获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422867891.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体清洗设备是由郭亨;巫双设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体清洗设备，包括进料模块、出料模块、干燥模块以及至少一个清洗模块；至少一个清洗模块和干燥模块设置于进料模块和出料模块之间；还包括：第一机械传输组件，能够在进料模块和清洗模块之间往复运动，以将进料模块内的待清洗晶圆传送至清洗模块；以及，第二机械传输组件，能够在清洗模块、干燥模块和出料模块之间往复运动，以将清洗模块内的已清洗待干燥晶圆传送至干燥模块，以及将干燥模块内的已干燥晶圆传送至出料模块。
本实用新型半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备，包括进料模块、出料模块、干燥模块以及至少一个清洗模块，其特征在于： 至少一个所述清洗模块和所述干燥模块设置于所述进料模块和所述出料模块之间； 所述半导体清洗设备还包括： 第一机械传输组件，能够在所述进料模块和所述清洗模块之间往复运动，以将所述进料模块内的待清洗晶圆传送至所述清洗模块；以及， 第二机械传输组件，能够在所述清洗模块、所述干燥模块和所述出料模块之间往复运动，以将所述清洗模块内的已清洗待干燥晶圆传送至所述干燥模块，以及将所述干燥模块内的已干燥晶圆传送至所述出料模块。
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