英穆自动化科技(厦门)有限公司吕志艺获国家专利权
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龙图腾网获悉英穆自动化科技(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆键合设备的气囊装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539570U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422979902.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆键合设备的气囊装置是由吕志艺;黄华星;黄海;王惠荣设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合设备的气囊装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆键合设备的气囊装置，包括依次上下设置的安装架、浮动机构、固定架和气囊；气囊安装于固定架下方，固定架与安装架通过浮动机构转动连接；浮动机构包括球轴承和若干支杆，球轴承两端分别连接于固定架与安装架，各支杆分别周向间隔的分布于球轴承的外周，支杆下端连接固定于固定架，支杆上端活动穿设于安装架上设置的活动孔。借此，通过设置浮动机构，在晶圆键合过程中，气囊对晶圆下压时，借由球轴承的转动连接以及各支杆的限位，气囊可以在一定幅度内进行自由摆动，可以实现将两片晶圆中的气泡从中间向外排除的效果，确保两片晶圆之间键合紧密，提高键合强度和精度。
本实用新型一种晶圆键合设备的气囊装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合设备的气囊装置，其特征在于：包括依次上下设置的安装架、浮动机构、固定架和气囊；所述气囊安装于固定架下方，固定架与安装架通过浮动机构转动连接；所述浮动机构包括球轴承和若干支杆，球轴承两端分别连接于固定架与安装架，各支杆分别周向间隔的分布于球轴承的外周，支杆下端连接固定于固定架，支杆上端活动穿设于安装架上设置的活动孔。
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