迈为技术(珠海)有限公司周辉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利一种晶圆对位扩膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423008044.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆对位扩膜装置是由周辉;褚锋;陈万群;王正根设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆对位扩膜装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆对位扩膜装置，包括：底板、升降机构、旋转机构以及导料机构，所述升降机构包括第一驱动组件、升降板以及扩膜组件，所述第一驱动组件安装于所述底板并与所述升降板连接，所述扩膜组件与所述升降板传动连接，所述导料机构设置于所述升降板和所述扩膜组件之间，所述旋转机构包括第二驱动组件以及内环组件，所述第二驱动组件安装于所述底板并与所述内环组件连接，所述内环组件与所述底板传动连接，且与所述扩膜组件位置相对。该装置通过两个互相独立的驱动组件分别驱动晶圆扩膜与晶圆旋转两个动作，从而实现扩膜与旋转同时运动，提高了晶圆放料、扩膜、旋转的效率，还增加导料机构，可以避免手动或自动放料时产品入料歪斜。
本实用新型一种晶圆对位扩膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对位扩膜装置，其特征在于，包括：底板1、升降机构、旋转机构以及导料机构，所述升降机构包括第一驱动组件2、升降板3以及扩膜组件4，所述第一驱动组件2安装于所述底板1，所述第一驱动组件2的驱动端与所述升降板3连接，所述扩膜组件4与所述升降板3传动连接，所述导料机构设置于所述升降板3和所述扩膜组件4之间，以使得晶圆片沿着预设方向移动至所述扩膜组件4上，所述旋转机构包括第二驱动组件5以及内环组件6，所述第二驱动组件5安装于所述底板1，所述第二驱动组件5的驱动端与所述内环组件6连接，所述内环组件6与所述底板1传动连接，且与所述扩膜组件4位置相对。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迈为技术(珠海)有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励