北京北方华创微电子装备有限公司钱存存获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利前开式界面机械标准系统及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539575U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422896694.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型前开式界面机械标准系统及半导体工艺设备是由钱存存设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本前开式界面机械标准系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种前开式界面机械标准系统及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种前开式界面机械标准系统包括：主板和设于主板的滑台机构；所述滑台机构包括支架、滑台本体和多个定位组件，所述支架连接于所述主板的侧面，所述滑台本体沿靠近或远离所述主板的方向滑动连接于所述支架，多个所述定位组件分别设于所述滑台本体；每个所述定位组件包括定位件和驱动部件，所述定位件活动连接于所述滑台本体，并在垂直于所述滑台本体表面的方向上可移动，所述驱动部件连接于所述滑台本体并与所述定位件传动连接。本申请能够解决手动调节定位针导致操作繁琐、降低设备产能等问题。
本实用新型前开式界面机械标准系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种前开式界面机械标准系统，用于承载晶圆盒2并驱动所述晶圆盒2运动，其特征在于，所述前开式界面机械标准系统1包括：主板100和设于主板100的滑台机构200； 所述滑台机构200包括支架210、滑台本体220和多个定位组件230，所述支架210连接于所述主板100的侧面，所述滑台本体220沿靠近或远离所述主板100的方向滑动连接于所述支架210，多个所述定位组件230分别设于所述滑台本体220； 每个所述定位组件230包括定位件231和驱动部件232，所述定位件231活动连接于所述滑台本体220，并在垂直于所述滑台本体220表面的方向上可移动，所述驱动部件232连接于所述滑台本体220并与所述定位件231传动连接。
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