北京北方华创微电子装备有限公司王欣妍获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利定位辅助装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423000776.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型定位辅助装置是由王欣妍;张波设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本定位辅助装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种定位辅助装置，用于辅助确定半导体热处理设备的工艺门的关门位置，定位辅助装置包括定位主体及定位柱，定位主体具有第一部分和位于第一部分下方并与第一部分相连的第二部分，定位柱与第一部分固定连接；第一部分用以伸入至工艺外管内部，定位柱用于穿设至工艺外管的安装孔内，第二部分用以延伸至工艺外管下方，并能够与避让槽插接配合或分离。由于第二部分延伸至工艺外管的下方，第二部分与避让槽在工艺外管外部插接配合，因此，利用该定位辅助装置来确定关门位置时，工作人员能够容易的观察到第二部分是否与对应的避让槽对准，以能够容易的根据观察结果将密封环调节至避让槽与第二部分对应的位置，确认关门位置的难度降低。
本实用新型定位辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种定位辅助装置，用于辅助确定半导体热处理设备的工艺门的关门位置，所述半导体热处理设备的工艺外管侧壁上设有安装孔，所述半导体热处理设备的进气管从所述工艺外管外经由所述安装孔延伸至所述工艺外管内，所述工艺门上设有密封环，所述密封环上设有避让槽，所述避让槽的开口端至末端由所述密封环的顶面竖直向下延伸，所述工艺门在关门位置时，所述密封环位于所述工艺外管内部，且所述进气管的部分插装在所述避让槽内；其特征在于， 所述定位辅助装置包括：定位主体以及定位柱，所述定位主体具有第一部分和位于所述第一部分下方并与所述第一部分相连的第二部分，所述定位柱与所述第一部分固定连接； 所述第一部分用以伸入至所述工艺外管内部，所述定位柱用于穿设至所述工艺外管的所述安装孔内，所述第二部分用以由所述工艺外管底端延伸至所述工艺外管外部，所述第二部分能够与所述避让槽插接配合或脱离插接配合。
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