苏州芯钛半导体科技有限公司吴明芳获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯钛半导体科技有限公司申请的专利晶圆上料转运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423076806.7，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆上料转运装置是由吴明芳;苏勇信;齐羿;赖建豪;萧旻浩设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆上料转运装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及自动化技术领域，涉及一种晶圆上料转运装置。本实用新型通过输送轨道将晶圆载具传输至顶升机构后，顶升机构将输送轨道上的晶圆载具顶升至两滑动架的转运皮带线上，调节机构带动两滑动架朝向相对方向运动以改变两转运皮带线的间距，使得晶圆载具落料至转运皮带线上，从而实现晶圆载具从输送轨道上转移到转运皮带线上，而转运皮带线的传输方向与所述输送轨道的传输方向相垂直，从而改变了晶圆载具的输送方向，其结构紧凑，可有效减少占地面积，输送过程稳定，也不会出现产品掉落的情况。
本实用新型晶圆上料转运装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆上料转运装置，其特征在于，包括： 输送机构，包括输送架，所述输送架上设置有用于传输晶圆载具的输送轨道； 转运机构，设置于所述输送架上，所述转运机构包括两滑动架，所述滑动架上滑设在所述输送架上，所述滑动架上设置有转运皮带线，所述转运皮带线的传输方向与所述输送轨道的传输方向相垂直； 调节机构，与所述转运机构相连接，所述调节机构与两滑动架连接，所述调节机构用于带动两滑动架朝向相对或相反方向运动以改变两转运皮带线的间距； 顶升机构，设置于所述输送轨道下方，所述顶升机构用于将输送轨道上的晶圆载具顶升至两滑动架的转运皮带线上进行转角传输。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯钛半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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