广东凯迪微智能装备有限公司江永获国家专利权
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龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423002091.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘是由江永;熊伟设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了伯努利卡盘领域的一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘，包括顶盖和吸盘底座，所述顶盖的侧面均匀设置有若干用于实现排气的气流通道，所述气流通道均贯穿所述顶盖的表面，所述顶盖均匀设置有若干导流孔，所述导流孔呈环形设置于所述顶盖的表面，所述吸盘底座的底部往外延伸形成连接杆，所述连接杆的表面向内凹陷形成卡槽，所述连接杆的一端往外延伸形成两块卡块；本实用新型一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘，通过在顶盖的侧面均匀设置若干气流通道，以及顶盖上环形设置的导流孔进一步优化了气流分布，有效的改善因氮气排出时容易在晶圆和吸盘底座的边缘部分形成不稳定涡流的状况，能够改善晶圆正面边缘酸气腐蚀的问题。
本实用新型一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘在权利要求书中公布了：1.一种应用于平边晶圆的伯努利卡盘，包括顶盖和吸盘底座，其特征在于：所述顶盖的侧面均匀设置有若干用于实现排气的气流通道，所述气流通道均贯穿所述顶盖的表面，所述顶盖均匀设置有若干导流孔，所述导流孔呈环形设置于所述顶盖的表面，所述吸盘底座的底部往外延伸形成连接杆，所述连接杆的表面向内凹陷形成卡槽，所述连接杆的一端往外延伸形成两块卡块。
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