中山市易天自动化设备有限公司高军鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中山市易天自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆键合装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539585U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422644759.5，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆键合装置是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆键合装置，包括洁净棚、承载组件、切膜组件、贴膜组件、键合下腔体组件和键合上腔体组件，承载组件用于承载石英玻璃活动于切膜组件和贴膜组件下方，切膜组件用于对胶膜进行切割，贴膜组件用于胶膜与石英玻璃紧密贴附，键合下腔体组件用于放置已贴膜石英玻璃，并驱动已贴膜石英玻璃在键合时进行上升运动，键合上腔体组件用于吸附晶圆，并提供真空环境和下压力，以使键合更紧密。实用新型提出键合下腔体组件上升、键合上腔体组件下压，并对形成的闭合体进行抽真空处理，有效提高了键合效果；本实用新型提出石英玻璃贴膜和晶圆键合装置一体化，有效提高了生产效率；本实用新型提出洁净棚保护整个装置，有效避免装置受污染。
本实用新型一种晶圆键合装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合装置，包括机架，其特征在于，包括洁净棚、承载组件、切膜组件、贴膜组件、键合下腔体组件和键合上腔体组件，所述承载组件、切膜组件、贴膜组件、键合下腔体组件和键合上腔体组件均设于所述洁净棚内，所述洁净棚设于所述机架上； 所述承载组件活动设于所述切膜组件和所述贴膜组件下方，并用于承载石英玻璃； 所述切膜组件设于所述贴膜组件侧方，并用于对胶膜进行切割，以使所述胶膜与所述石英玻璃的大小和形状相同； 所述贴膜组件位于所述机架一侧，并用于对所述石英玻璃进行贴膜； 所述键合下腔体组件设于所述机架另一侧，并用于放置已贴膜的石英玻璃； 所述键合上腔体组件设于所述键合下腔体组件上方，并用于吸附晶圆，以使晶圆和已贴膜石英玻璃完成键合。
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