杭州积海半导体有限公司曹旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利快速热退火防飞片机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422978241.5，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型快速热退火防飞片机台是由曹旭东;邢猛;刘芹安设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本快速热退火防飞片机台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种快速热退火防飞片机台，包括支撑套、驱动机构及防飞片边缘环，支撑套安装在驱动机构上并在驱动机构的驱使下旋转，防飞片边缘环安装在支撑套上；其中，防飞片边缘环包括：承载部，为环形且内环处形成有用于放置晶圆的凹槽；连接部，环绕设置在承载部的外侧，连接部的一端与承载部连接，另一端朝背离承载部的方向斜向上延伸以形成斜坡面；安装部，位于连接部的另一端并用于整个防飞片边缘环的固定。通过将现有边缘环的直角型凹槽改进为楔形坡面凹槽，在保证质量不会增加的同时晶圆在防飞片边缘环上即使发生轻微飞片也会自然滑落至凹槽的底部，从而大大降低了晶圆在快速热退火过程中因飞片导致的破片几率。
本实用新型快速热退火防飞片机台在权利要求书中公布了：1.一种快速热退火防飞片机台，其特征在于，包括支撑套、驱动机构及防飞片边缘环，所述支撑套安装在所述驱动机构上并在所述驱动机构的驱使下旋转，所述防飞片边缘环安装在所述支撑套上；其中，所述防飞片边缘环包括： 承载部，为环形且内环处形成有用于放置晶圆的凹槽； 连接部，环绕设置在所述承载部的外侧，所述连接部的一端与所述承载部连接，另一端朝背离所述承载部的方向斜向上延伸以形成斜坡面； 安装部，位于所述连接部的另一端并用于整个防飞片边缘环的固定。
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