北京北方华创微电子装备有限公司王思孝获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利温度监控装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223540252U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422864810.3，技术领域涉及：H02H5/04；该实用新型温度监控装置及半导体工艺设备是由王思孝;张立彬设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度监控装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种温度监控装置及半导体工艺设备。温度监控装置包括过流控制回路、过温控制回路；过流控制回路，包括连接的电流传感器和控制模块；控制模块包括第一接触器；电流传感器串联于半导体工艺设备中向电磁模块供电的第一电路，在第一电路上的电流超过第一阈值的情况下，电流传感器产生第一电信号并发送至控制模块；控制模块在接收到第一电信号的情况下，通过与第一电路连接的第一接触器断开第一电路；过温控制回路，包括连接的过温传感器和第二接触器；过温传感器与电磁模块连接，在电磁模块的温度超过第二阈值的情况下，过温传感器产生第二电信号并发送至与第一电路连接的第二接触器，第二接触器在接收到第二电信号的情况下，断开第一电路。
本实用新型温度监控装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种温度监控装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括过流控制回路、过温控制回路；其中， 所述过流控制回路，包括连接的电流传感器和控制模块；所述控制模块包括第一接触器；所述电流传感器串联于所述半导体工艺设备中向电磁模块供电的第一电路，在所述第一电路上的电流超过第一阈值的情况下，所述电流传感器产生第一电信号并发送至所述控制模块；所述控制模块在接收到所述第一电信号的情况下，通过与所述第一电路连接的所述第一接触器断开所述第一电路； 所述过温控制回路，包括连接的过温传感器和第二接触器；所述过温传感器与所述电磁模块连接，在所述电磁模块的温度超过第二阈值的情况下，所述过温传感器产生第二电信号并发送至与第一电路连接的所述第二接触器，所述第二接触器在接收到所述第二电信号的情况下，断开所述第一电路。
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