长鑫存储技术有限公司古進忠获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利研磨头施压参数的检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111451936B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910042440.6，技术领域涉及：B24B49/00；该发明授权研磨头施压参数的检测方法及系统是由古進忠;彭竑凯;宋受壮设计研发完成，并于2019-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨头施压参数的检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种研磨头施压参数的检测方法及系统，方法包括：提供一待检测研磨头；设定待检测研磨头的使用模式，以及基于使用模式和预先建立的数据库，设定待检测研磨头在所述使用模式下的施压参数为第一设定值；在待检测研磨头上放置薄膜感测片，并利用待检测研磨头在使用模式下对薄膜感测片施压，以由薄膜感测片检测待检测研磨头的第一实际施压参数，并验证第一实际施压参数与第一设定值相差是否小于预设值；当第一实际施压参数与第一设定值相差小于预设值时，摘除薄膜感测片，并利用待检测研磨头在所述使用模式下依照所述第一设定值研磨晶圆。所述方法可以确保晶圆的研磨效果，提高晶圆的良率。
本发明授权研磨头施压参数的检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种研磨头施压参数的检测方法，其特征在于， 所述方法包括： 提供一待检测研磨头； 设定所述待检测研磨头的使用模式，以及基于所述使用模式和预先建立的数据库，将所述待检测研磨头在所述使用模式下的施压参数设定为第一设定值，其中，所述数据库包括研磨头的至少一种使用模式，以及与所述研磨头的使用模式对应的研磨头的合格施压参数范围； 在所述待检测研磨头上放置薄膜感测片，并利用所述待检测研磨头在所述使用模式下依照所述第一设定值对所述薄膜感测片施压，以由所述薄膜感测片检测所述待检测研磨头的第一实际施压参数，并验证所述第一实际施压参数与第一设定值相差是否小于预设值； 当所述第一实际施压参数与第一设定值相差小于预设值时，摘除所述薄膜感测片，并利用所述待检测研磨头在所述使用模式下依照所述第一设定值研磨晶圆。
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