杭州至朗科技有限公司罗德里格斯·桑切斯·弗朗西斯科·塞巴斯蒂安获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州至朗科技有限公司申请的专利新型的流量传感器芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114018350B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111443541.8,技术领域涉及:G01F1/68;该发明授权新型的流量传感器芯片是由罗德里格斯·桑切斯·弗朗西斯科·塞巴斯蒂安;王伟;吴昭设计研发完成,并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本新型的流量传感器芯片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种新型的流量传感器芯片,包含:加热部件、上游部件、下游部件、隔离薄膜件和传感器基体;加热部件连接至隔离薄膜件;上游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端;下游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端;被检测的气流按顺序流经上游部件的上表面、加热部件的上表面和下游部件的上表面;隔离薄膜件上设有一用于连通隔离薄膜件上方和下方以平衡隔离薄膜件上方和下方的气压的通孔。本发明的新型的流量传感器芯片,在隔离薄膜件上设置了通孔,可以贯通隔离薄膜件上下方气压,防止隔离薄膜件长时间处于压力状态,起到平衡隔离薄膜件下方空腔气体与上方气体的气压的作用,从而增加传感器芯片的使用寿命。
本发明授权新型的流量传感器芯片在权利要求书中公布了:1.一种流量传感器芯片,其特征在于,包含: 加热部件,用于产生热量; 上游部件,位于所述加热部件的上游,且与所述加热部件间隔设置; 下游部件,位于所述加热部件的下游,且与所述加热部件间隔设置; 隔离薄膜件,位于所述加热部件的下方用于隔绝热量; 并支撑所述加热部件、所述上游部件的至少一部分和所述下游部件的至少一部分; 传感器基体,连接至所述隔离薄膜件且位于所述隔离薄膜件的两侧; 所述加热部件连接至所述隔离薄膜件; 所述上游部件包含靠近所述加热部件的热端和远离所述加热部件的冷端,所述上游部件的热端连接至所述隔离薄膜件且位于所述隔离薄膜件的上方,所述上游部件的冷端连接至所述传感器基体且位于所述传感器基体的上方; 所述下游部件包含靠近所述加热部件的热端和远离所述加热部件的冷端,所述下游部件的冷端连接至所述传感器基体且位于所述传感器基体的上方,所述下游部件的热端连接至所述传感器基体且位于所述传感器基体的上方; 被检测的气流按顺序流经所述上游部件的上表面、所述加热部件的上表面和所述下游部件的上表面; 所述隔离薄膜件上设有一用于连通所述隔离薄膜件上方和下方以平衡所述隔离薄膜件上方和下方的气压的通孔; 所述通孔位于所述隔离薄膜件的边缘; 所述通孔的长度为所述隔离薄膜件的总长的0.05%至5%; 所述上游部件距离所述加热部件的距离和所述下游部件距离所述加热部件的距离相等; 所述上游部件与所述隔离薄膜件接触的部分的长度大于其与所述传感器基体接触的部分的长度; 所述下游部件与所述隔离薄膜件接触的部分的长度大于其与所述传感器基体接触的部分的长度; 所述上游部件的与所述隔离薄膜件接触的部分的长度和所述下游部件与所述隔离薄膜件接触的部分的长度相等; 所述上游部件的与所述传感器基体接触的部分的长度和所述下游部件与所述传感器基体接触的部分的长度相等。
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