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龙图腾网获悉系统科技公司申请的专利传送盒清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114512393B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110521366.3，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权传送盒清洗方法是由朴永秀;许东根;李基万设计研发完成，并于2021-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本传送盒清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种传送盒清洗方法，包括：分离步骤，将移入的传送盒分离为内传送盒和外传送盒；清洁步骤，在清洁室内部对分离的传送盒进行清洗；干燥步骤，在干燥室内部对通过上述清洁步骤的上述传送盒进行干燥；真空处理步骤，对通过上述干燥步骤的上述传送盒进行真空处理；组装步骤，对通过上述真空处理步骤的上述内传送盒和上述外传送盒进行组装，上述清洁步骤和上述干燥步骤分开进行。

本发明授权传送盒清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种传送盒清洗方法，其特征在于，包括： 分离步骤，将移入的传送盒分离为内传送盒和外传送盒； 清洁步骤，在清洁室内部对分离的传送盒进行清洗； 移送步骤，利用室移动部，将所分离的传送盒从所述清洁室移送至干燥室； 干燥步骤，在所述干燥室内部对通过所述清洁步骤的所述传送盒进行干燥； 真空处理步骤，对通过所述干燥步骤的所述传送盒进行真空处理； 组装步骤，对通过所述真空处理步骤的所述内传送盒和所述外传送盒进行组装， 所述清洁步骤和所述干燥步骤分开进行， 其中，所述清洁室包括： 第一清洗喷嘴，其喷射去离子水，以清洗所述传送盒的整个区域； 第二清洗喷嘴，其喷射蒸汽，以清洗所述传送盒的整个区域； 第一干燥喷嘴，其朝向所述传送盒配置在两侧，并喷射高温气体，以干燥清洗液；以及 第一气刀，其与所述清洁室的出口相邻配置，并能够倾斜地向所述传送盒的表面喷射气体，以将残留在所述传送盒的表面的清洗液吹除， 其中，所述干燥室包括： 第二干燥喷嘴，其朝向所述传送盒配置在两侧，并喷射干燥气体； 红外线灯，其释放红外线，以干燥所述传送盒；以及 第二气刀，其分别配置于所述干燥室的入口侧和出口侧，并能够倾斜地向所述传送盒的表面喷射气体， 所述室移动部包括放置有所述传送盒的夹具和与所述夹具连接以移动所述夹具的移动单元， 所述移动单元的一区域配置在所述清洁室及所述干燥室的外部， 所述夹具包括用于支撑所述传送盒的放置夹具和用于将所述放置夹具连接于所述移动单元的连接夹具， 所述放置夹具包括： 直线部，其垂直连接于所述连接夹具； 倾斜部，其从所述直线部的端部倾斜延伸，具有比所述传送盒的外缘形状大的四边形的截面，从而以所述传送盒的两侧面暴露的方式放置所述传送盒；以及 支撑销，其配置在所述倾斜部的下部以支撑所述传送盒的下部，且配置在所述倾斜部的侧部以支撑所述传送盒的两侧表面和后表面。

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