株式会社斯库林集团藤内裕史获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582784B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111461026.2，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权衬底处理装置是由藤内裕史设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明是一种对衬底进行特定处理的衬底处理装置，所述装置包含以下要素。上述要素是指：旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转；旋转驱动部，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台；保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，对衬底进行特定处理，所述装置包含以下要素： 旋转台，构成为能够绕铅直轴旋转； 旋转驱动构件，连结在所述旋转台的中心部，具备经接地的旋转轴，且在水平面内旋转驱动所述旋转台； 保持机构，设置在所述旋转台的外周侧的上表面，具备由导电性材料构成的多根支撑销，且将衬底以与所述旋转台的上表面分离的状态呈水平姿势保持；以及 接地线，具备导电性，构成所述旋转台的一部分，将所述多根支撑销与所述旋转轴电连接； 所述旋转台中形成着从所述支撑销朝向所述旋转轴具有长轴的槽， 所述槽在与所述长轴正交的短轴的纵截面中，呈现上底形成得比下底长的梯形， 所述接地线在所述短轴的纵截面呈现与所述槽相应的形状。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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