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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114597142B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111368368.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权热处理装置是由近藤泰章;大森麻央设计研发完成，并于2021-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本热处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够减小气体供给相关要素的设置空间的热处理装置。本发明的热处理装置中，对半导体晶圆进行加热处理的腔室10连接有助燃性气体管线31、可燃性气体管线41及惰性气体管线51。在对腔室10供给可燃性气体之前，从惰性气体管线51对助燃性气体管线31送入氮气，将助燃性气体管线31内置换为氮气。在对腔室10供给助燃性气体之前，从惰性气体管线51对可燃性气体管线41送入氮气，将可燃性气体管线41内置换为氮气。助燃性气体管线31及可燃性气体管线41设有共通的1根惰性气体管线51，因此能够减小气体供给相关要素的设置空间。

本发明授权热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，其特征在于：对衬底进行加热，且具备： 腔室，收容衬底； 加热部，对收容在所述腔室中的所述衬底进行加热处理； 助燃性气体管线，对所述腔室供给助燃性气体； 可燃性气体管线，对所述腔室供给可燃性气体；以及 所述助燃性气体管线及所述可燃性气体管线共通的惰性气体管线，对所述助燃性气体管线送入惰性气体，将所述助燃性气体管线内置换为惰性气体，并且对所述可燃性气体管线送入惰性气体，将所述可燃性气体管线内置换为惰性气体， 所述助燃性气体管线中设有第1质量流量控制器， 所述可燃性气体管线中设有第2质量流量控制器及质量流量计， 所述惰性气体管线中设有第3质量流量控制器， 包含所述第1质量流量控制器在内的设置在所述助燃性气体管线中的多个机器被整合为助燃性气体供给单元， 包含所述第2质量流量控制器及所述质量流量计在内的设置在所述可燃性气体管线中的多个机器被整合为可燃性气体供给单元， 包含所述第3质量流量控制器在内的设置在所述惰性气体管线中的多个机器被整合为惰性气体供给单元， 至少将所述第2质量流量控制器及所述质量流量计收容在壳体内， 对所述壳体内供给氮气。

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