细美事有限公司诸振模获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备及设置在基板处理设备中的装填构件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114628283B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111488676.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备及设置在基板处理设备中的装填构件是由诸振模;吴承勋;崔永燮;朴美昭;禹钟贤设计研发完成，并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备及设置在基板处理设备中的装填构件在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理设备及设置在基板处理设备中的装填构件，该设备包括容器，在该容器中形成有密封型处理空间，基板容纳在处理空间；设置在容器的壁的内部的供应端口，以供应处理流体至处理空间；设置在容器的壁的内部并与供应端口间隔开的排放端口；以及设置在处理空间中的缓冲构件，在俯视时，缓冲构件设置在与供应端口及排放端口重叠的位置。缓冲构件包括侧壁部，该侧壁部位于供应端口及排放端口外，并能与容器的壁接触；以及上壁部，该上壁部具有在其中形成的通孔，以对应于基板的中心，通孔在向上向下方向形成直线的流动路径。
本发明授权基板处理设备及设置在基板处理设备中的装填构件在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括： 容器，所述容器具有形成在其中的密封型处理空间，所述基板被容纳在所述处理空间； 供应端口，所述供应端口设置在所述容器的壁的内部，并配置为将处理流体供应至所述处理空间； 排放端口，所述排放端口设置在所述容器的所述壁的内部，并与所述供应端口间隔开；以及 缓冲构件，所述缓冲构件设置在所述处理空间中，在俯视时，所述缓冲构件设置在与所述供应端口及所述排放端口重叠的位置， 其中，所述缓冲构件包括： 侧壁部，所述侧壁部位于所述供应端口及所述排放端口外，并配置为与所述容器的所述壁接触；以及 上壁部，所述上壁部具有形成在其中的通孔，以对应于所述基板的中心，其中，所述通孔在向上向下方向形成直线的流动路径； 其中，所述缓冲构件进一步包括从所述上壁部向下延伸的内壁部，以增加所述通孔的所述流动路径的长度，且 其中，通过所述侧壁部、所述上壁部以及所述内壁部形成缓冲空间。
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