买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和用于处理基板的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111628174.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法是由金周援;徐准浩;朴崠云;尹相弼设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理装置。根据本发明构思，基板处理装置通过在旋转基板上供应处理液来处理所述基板。排出内部空间的气氛的排气单元包括：引入所述内部空间的气氛的第一排气口；设置为在第一方向上排出通过所述第一排气口引入的气氛的第一排气管线以及引入所述内部空间的气氛的第二排气口；以及设置为在第二方向上排出通过所述第二排气口引入的气氛的第二排气管线。控制器控制支撑单元使得所述第一排气管线和所述第二排气管线内部的排气方向成为相对于所述基板的旋转方向的正向方向。

本发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，其包括： 用于处理所述基板的第一处理单元，其包括具有第一内部空间的第一处理容器和在所述第一内部空间中支撑并旋转所述基板的第一支撑单元； 用于处理所述基板的第二处理单元，其包括具有第二内部空间的第二处理容器和在所述第二内部空间中支撑并旋转所述基板的第二支撑单元；以及 排气单元，其使所述第一内部空间和所述第二内部空间排气；以及 控制所述第一支撑单元和所述第二支撑单元的控制器， 其中，所述第一处理单元和所述第二处理单元布置成一条线，并且 所述排气单元包括： 第一公共管道，其位于由所述第一处理单元和所述第二处理单元的布置所限定的单元布置方向的第一侧处； 第二公共管道，其位于所述单元布置方向的与所述第一侧相对的第二侧处； 第一排气管线，其具有引入所述第一内部空间的气氛的第一排气口并且通过所述第一公共管道排出引入所述第一排气口的气氛； 第二排气管线，其具有引入所述第一内部空间的气氛的第二排气口并且通过所述第二公共管道排出引入所述第二排气口的气氛； 第三排气管线，其具有引入所述第二内部空间的气氛的第三排气口并且通过所述第一公共管道排出引入所述第三排气口的气氛；以及 第四排气管线，其具有引入所述第二内部空间的气氛的第四排气口并且通过所述第二公共管道排出进入所述第四排气口的气氛， 其中，所述控制器控制所述第一支撑单元和所述第二支撑单元，使得所述第一排气管线、所述第二排气管线、所述第三排气管线和所述第四排气管线内部的排气方向成为相对于所述基板的旋转方向的正向方向，并且 其中，所述第一排气管线、所述第二排气管线、所述第三排气管线和所述第四排气管线分别以圆弧形状设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。