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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利半导体制程量测数据的预测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114861529B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210419129.0，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权半导体制程量测数据的预测方法是由俞微;陈旭;魏峥颖;王勇;毛贵蕴设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体制程量测数据的预测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体制程量测数据的预测方法，包括：提供一晶圆的历史量测数据及与历史原始过程数据；利用自编码器对第一时间序列数据进行时间步缩短处理，以获得第二时间序列数据；利用第二时间序列数据及历史量测数据对预测模型进行拟合训练，预测模型包括transformer编码器及多层感知机；将待预测原始过程数据输入时间步缩短模型及预测模型，以获得预测量测数据。本发明中，通过自编码器对时间序列数据进行时间步上的缩短，以在无损特征信息前提下以利于提高整体的计算效率，再利用transformer编码器的并行计算以提高计算速度，以及利用自注意力机制在获取数据的大小特征的同时兼顾时间步上的特征，以提高预测的准确率。

本发明授权半导体制程量测数据的预测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程量测数据的预测方法，其特征在于，包括： 提供一晶圆的历史量测数据及与所述历史量测数据相对应的半导体制程的历史原始过程数据，所述历史原始过程数据包括第一时间序列数据； 利用自编码器对所述第一时间序列数据进行时间步缩短处理，以获得第二时间序列数据，所述自编码器包括编码模块及解码模块，所述编码模块对所述第一时间序列数据进行编码以获得所述第二时间序列数据，所述编码模块包括二维卷积网络，所述二维卷积网络的卷积核及所述二维卷积网络的池化核的高度均为1，或者所述二维卷积网络的卷积核及所述二维卷积网络的池化核的宽度均为1； 利用所述第二时间序列数据及所述历史量测数据对预测模型进行拟合训练，所述预测模型包括transformer编码器及多层感知机，所述transformer编码器用于提取时间序列特征，所述多层感知机利用所述时间序列特征进行预测以得到预测结果，其中，所述多层感知机包括lambda层、最大池化层、均值池化层、前制程输入层、Concatenate层及dense层，所述Concatenate层将所述lambda层、所述最大池化层、所述均值池化层及所述前制程输入层提取的特征进行融合后，再输出至所述dense层，所述前制程输入层为所述晶圆在所述半导体制程的前一工序的量测数据； 将所述半导体制程的待预测原始过程数据输入所述自编码器及所述预测模型，以获得对应晶圆的预测量测数据，其中，所述历史原始过程数据及所述待预测原始过程数据均为所述半导体制程的FDC数据。

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