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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利一种体声波谐振器及其制造方法、以及滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114938216B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210531064.9，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种体声波谐振器及其制造方法、以及滤波器是由唐滨;赖志国;杨清华设计研发完成，并于2022-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种体声波谐振器及其制造方法、以及滤波器在说明书摘要公布了：本发明提供了一种体声波谐振器的制造方法，包括衬底提供步骤、声反射结构形成步骤以及叠层结构形成步骤，其中，叠层结构的形成步骤包括：在衬底上或声反射结构上从下至上依次形成下电极、第一压电层、第二压电层以及上电极，该上电极、第二压电层、第一压电层、下电极以及声反射结构在器件厚度方向上存在重叠区域，该重叠区域构成体声波谐振器的谐振区；第一压电层采用含掺杂压电材料实现，该含掺杂压电材料中掺杂有用于提升第一压电层机电耦合系数的杂质元素，第二压电层采用非掺杂压电材料实现。相应地本发明还提供了一种体声波谐振器以及滤波器。实施本发明可以得到机电耦合系数和品质因数相兼顾、寄生模式小以及应力均衡的体声波谐振器。

本发明授权一种体声波谐振器及其制造方法、以及滤波器在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器的制造方法，其特征在于，该制造方法包括： 衬底提供步骤、声反射结构形成步骤、以及叠层结构形成步骤，所述声反射结构形成在所述衬底内或形成在所述衬底和所述叠层结构之间，其中，所述叠层结构的形成步骤包括： 在所述衬底上或所述声反射结构上从下至上依次形成下电极、第一压电层、第二压电层以及上电极，该上电极、第二压电层、第一压电层、下电极以及所述声反射结构在器件厚度方向上存在重叠区域，该重叠区域构成所述体声波谐振器的谐振区； 其中，所述第一压电层采用含掺杂压电材料实现，该含掺杂压电材料中掺杂有用于提升所述第一压电层机电耦合系数的杂质元素，所述第二压电层采用非掺杂压电材料实现； 其中，在所述第一压电层中形成第一声反射部，该第一声反射部位于待形成谐振区的外侧且靠近或紧邻待形成谐振区；和或 在所述第二压电层中形成第二声反射部，该第二声反射部位于待形成谐振区的外侧且靠近或紧邻待形成谐振区。

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