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龙图腾网获悉源多可股份有限公司申请的专利用于产生等离子体的装置以及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115769335B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180043709.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于产生等离子体的装置以及其控制方法是由严世勋;李润星;孙永勋;朴世洪设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于产生等离子体的装置以及其控制方法在说明书摘要公布了：根据本说明书的一个实施例，提供一种用于产生等离子体的装置以及其控制方法，所述装置包括：腔室，被配置成为等离子体提供产生空间；天线模块，与腔室相邻地放置且被配置成连接至第一电源并在腔室中产生感应电场；电极，与腔室相邻地放置且被配置成连接至第二电源并辅助产生等离子体；传感器，被配置成获得与等离子体的状况相关的感测信息；以及控制器，被配置成控制第一电源及第二电源。

本发明授权用于产生等离子体的装置以及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于产生等离子体的装置，包括： 腔室，被配置成为产生所述等离子体而提供空间； 第一电源，被配置成输出射频电压； 第二电源，被配置成输出脉波直流电压； 天线模块，与所述腔室相邻地放置并围绕所述腔室的侧壁的外表面，且被配置成连接至所述第一电源，使得当自所述第一电源向所述天线模块供应所述射频电压时，可以在所述腔室中产生感应电场； 电极，放置在所述腔室上且被配置成连接至所述第二电源，使得当所述第二电源在所述电极和反电极之间供应电压差时，可以供应电子到所述腔室中； 传感器，被配置成获得与所述等离子体的状况相关的感测信息；以及 控制器，被配置成控制所述第一电源及所述第二电源， 其中，用于点火所述腔室中的所述等离子体，所述控制器更被配置成： 控制所述第一电源向所述天线模块输出所述射频电压以点火所述等离子体，而不自所述第二电源向所述电极供应所述脉波直流电压， 在保持自所述第一电源输出所述射频电压至所述天线模块的同时，获得与所述等离子体的所述状况相关的所述感测信息， 确定所获得的所述感测信息是否满足预定条件， 其中当所获得的所述感测信息表示所述等离子体的点火成功，确定所获得的所述感测信息满足所述预定条件， 当确定所述感测信息不满足所述预定条件时，自所述第二电源向所述电极供应第一脉波直流电压，同时保持自所述第一电源向包括所述天线模块的负载施加所述射频电压，并且 当确定所述感测信息满足所述预定条件时，保持自所述第一电源向包括所述天线模块的所述负载施加所述射频电压，而不自所述第二电源向所述电极供应所述脉波直流电压。

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