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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利压力控制系统的处理方法、装置和压力控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115840481B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211535827.3，技术领域涉及：G05D27/02；该发明授权压力控制系统的处理方法、装置和压力控制系统是由刘镇颉;叶五毛;柳雪;高级设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本压力控制系统的处理方法、装置和压力控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种压力控制系统的处理方法、装置和压力控制系统。其中，该方法包括：当衬底放置于加热装置之上时，控制吸附装置基于阀门和泵端降低吸附装置内部的压力，将衬底吸附于加热装置之上；控制吸附装置基于阀门和泵端恢复吸附装置内部的压力，将衬底解除吸附于加热装置之上；控制温度控制装置调整吸附装置的管路的温度。可以通过吸附装置进行衬底吸附和衬底解吸附，通过温度控制装置对吸附装置的管路进行温度控制，以使吸附装置的管路的温度不满足薄膜沉积的温度条件，从而阻碍薄膜沉积，解决压力控制系统堵塞及腔体颗粒污染的问题，无需频繁更换。

本发明授权压力控制系统的处理方法、装置和压力控制系统在权利要求书中公布了：1.一种压力控制系统的处理方法，其特征在于，所述方法包括： 当衬底放置于加热装置之上时，控制吸附装置基于阀门和泵端降低所述吸附装置内部的压力，将所述衬底吸附于所述加热装置之上； 控制所述吸附装置基于所述阀门和所述泵端恢复所述吸附装置内部的压力，将所述衬底解除吸附于所述加热装置之上； 控制温度控制装置调整所述吸附装置的管路的温度； 所述方法应用于压力控制系统，所述压力控制系统包括：吸附装置和温度控制装置，所述压力控制系统与外部的加热装置连接，所述吸附装置包括泵端和多个阀门；所述吸附装置包括：第一阀门、第二阀门和第三阀门，所述加热装置、所述第一阀门、所述第三阀门和所述泵端依次连接，所述加热装置、所述第一阀门、所述第二阀门和所述泵端依次连接； 所述温度控制装置包括换热模块、第四阀门和第五阀门；所述方法还包括：打开第一阀门、第三阀门和所述第五阀门，关闭第二阀门和所述第四阀门，将清洁气体从所述加热装置的吸附孔吸入所述吸附装置的吸附管路，并提高所述吸附管路的温度；打开第一阀门、第二阀门和所述第五阀门，关闭第三阀门和所述第四阀门，将所述清洁气体从所述加热装置的吸附孔吸入所述吸附装置的解除吸附管路，并提高所述解除吸附管路的温度。

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