长鑫存储技术有限公司李玉铃获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115869671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110955795.1，技术领域涉及：B01D24/10；该发明授权光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统是由李玉铃设计研发完成，并于2021-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统，其中，监控方法，包括：提供一光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻；运行所述光阻过滤器；获取所述光阻过滤器的过滤状态，并判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态；判断所述颗粒物的状态是否达到预设定的第二阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，停止运行所述光阻过滤器，并抓取所述光阻过滤器当前的过滤状态为所述光阻过滤器使用周期。本发明监控方法过程简单，且能够准确的检测出过滤器的使用周期。
本发明授权光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统在权利要求书中公布了：1.一种光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，包括： 提供一光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻； 运行所述光阻过滤器； 获取所述光阻过滤器的过滤状态，并判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值，所述过滤状态为过滤量和或过滤时间； 如果否，返回继续运行所述光阻过滤器； 如果是，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态； 判断所述颗粒物的状态是否达到预设定的第二阈值； 如果否，返回继续运行所述光阻过滤器； 如果是，停止运行所述光阻过滤器，并抓取所述光阻过滤器当前的过滤状态为所述光阻过滤器使用周期。
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