罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;杜邦电子公司钱百年获国家专利权
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龙图腾网获悉罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;杜邦电子公司申请的专利化学机械抛光垫及其制备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115958545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211243575.7，技术领域涉及：B24D11/00；该发明授权化学机械抛光垫及其制备是由钱百年;R·M·布洛姆奎斯特;L·M·艾尔-赛义德;M·E·米尔斯;K-A·雷迪;B·K·泰勒;S·夏设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光垫及其制备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种具有抛光层的化学机械抛光垫。该抛光层含有挤出片材。该挤出片材通过挤出混配的可光聚合组合物然后暴露于UV光来制备。
本发明授权化学机械抛光垫及其制备在权利要求书中公布了：1.一种用于制造挤出片材的方法，所述挤出片材待用作适用于抛光半导体衬底、光学衬底和磁性衬底中的至少一种的化学机械抛光垫中的抛光层，所述方法包括： a在挤出机中混配包含嵌段共聚物、可UV固化丙烯酸酯和光引发剂的可光聚合组合物，所述可光聚合组合物不含任何有机溶剂； b将步骤a的混配混合物经片材模具挤出到支撑体上； c使步骤b的产物通过多个压延辊； d将步骤c的产物暴露于UV光源； 其中所述嵌段共聚物以基于所述挤出片材的总重量大于50wt％的量存在，并且其中在步骤d中UV固化之后，所述抛光层具有在40至70范围内的肖氏D硬度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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