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龙图腾网获悉山东天岳先进科技股份有限公司申请的专利一种激光致裂制备碳化硅剥离片的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116174890B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211724331.0，技术领域涉及：B23K26/00；该发明授权一种激光致裂制备碳化硅剥离片的装置是由梁庆瑞;宋建;马立兴;王瑞;刘家朋;王含冠;宋生;杨晓俐;宁秀秀;宗艳民设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光致裂制备碳化硅剥离片的装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种激光致裂制备碳化硅剥离片的装置，属于激光加工技术领域。所述装置包括：包括：晶面检测单元、夹角判定单元、角度调节单元、激光扫描单元、外力施加单元、以及用于固定和支撑碳化硅晶锭的固定单元，其中，所述激光扫描单元包括能够产生所述第一激光束的第一激光头，并被设置为能够接收所述第一信号并启动所述第一激光头对碳化硅晶锭进行扫描，以形成含有多个裂纹且沿所述第一平面延展的待剥离面；所述外力施加单元被设置为能够对所述待剥离面施加振动，以得到碳化硅剥离片。本发明提供的激光致裂制备碳化硅剥离片的装置，能够降低碳化硅晶片加工应力，减少外延后面型变化量，可实现自动化加工，提高加工效率。

本发明授权一种激光致裂制备碳化硅剥离片的装置在权利要求书中公布了：1.一种激光致裂制备碳化硅剥离片的装置，其特征在于，包括：晶面检测单元、夹角判定单元、角度调节单元、激光扫描单元、外力施加单元、以及用于固定和支撑碳化硅晶锭的固定单元，其中， 所述晶面检测单元被配置在碳化硅晶锭的待剥离位置上方，并能够检测碳化硅晶锭的0001晶面，得到晶面位置信息； 所述夹角判定单元被设置为接收所述晶面位置信息，并计算所述晶面位置信息与第一平面之间的夹角值，判断所述夹角值是否满足预设夹角值的要求，如满足，则输出第一信号，如不满足，则输出第二信号，其中，所述第一平面与第一激光束所在的第一方向始终保持垂直； 所述角度调节单元包括能够调节碳化硅晶锭角度的晶锭角度调节机构和或能够调节第一方向的第一激光束角度调节机构，并被设置为能够接收第二信号并启动所述晶锭角度调节机构和或所述第一激光束角度调节机构； 所述激光扫描单元包括能够产生所述第一激光束的第一激光头，并被设置为能够接收所述第一信号并启动所述第一激光头对碳化硅晶锭进行扫描，以形成含有多个裂纹且沿所述第一平面延展的待剥离面；所述激光扫描单元还包括能够产生第二激光束的第二激光头，所述第二激光头被设置为能够使所述第二激光束围绕碳化硅晶锭的圆周方向扫描该碳化硅晶锭；所述第二激光头被设置为能够与第一激光头联动控制，且能够确保所述第二激光束所在的第二方向始终处于所述第一平面内； 所述角度调节单元还包括能够调节第二激光束所在的第二方向的第二激光束角度调节机构，并被设置为能够接收第二信号并启动所述第二激光束角度调节机构，使得所述第二方向始终处于所述第一平面内； 所述外力施加单元被设置为能够对所述待剥离面施加振动，以得到碳化硅剥离片。

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