北京北方华创微电子装备有限公司周振溪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶舟组件和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116240527B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310272846.X，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权晶舟组件和半导体工艺设备是由周振溪;闫志顺;侯鹏飞;赵福平;杨来宝;郑建宇;李补忠设计研发完成，并于2023-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟组件和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶舟组件，包括多个晶舟，至少一个晶舟的出舟侧底部具有前导电舟脚，至少一个晶舟的入舟侧底部具有后导电舟脚，前导电舟脚的顶部具有接触凸起，后导电舟脚的底部具有接触凹槽，相邻两个晶舟中位于出舟侧的晶舟进入工艺腔室中时，其后导电舟脚的接触凹槽能够与位于入舟侧的晶舟的前导电舟脚的接触凸起接触，以将相邻两个晶舟电连接。本发明通过后导电舟脚与前导电舟脚搭接的方式将相邻晶舟电连接，无需在工艺腔室的开口处设置电极，保证了半导体工艺效果，且前导电舟脚及后导电舟脚可随晶舟取出并单独进行清洁维护，在对晶舟进行维护时无需停机，提高了半导体工艺设备的维护效率，保证了机台产能。本发明还提供一种半导体工艺设备。
本发明授权晶舟组件和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟组件，包括多个晶舟，多个所述晶舟用于沿工艺腔室的轴线方向依次进入工艺腔室中，以及沿所述工艺腔室的轴线方向依次由所述工艺腔室中取出，其特征在于，至少一个所述晶舟的出舟侧底部具有前导电舟脚，至少一个所述晶舟的入舟侧底部具有后导电舟脚，所述前导电舟脚的顶部具有接触凸起，所述后导电舟脚的底部具有接触凹槽，相邻两个所述晶舟中位于出舟侧的所述晶舟进入所述工艺腔室中时，其所述后导电舟脚的接触凹槽能够与位于入舟侧的所述晶舟的前导电舟脚的接触凸起接触，以将所述相邻两个所述晶舟电连接； 多个所述晶舟中位于入舟侧的所述晶舟用于与所述工艺腔室中的供电组件电连接，以接收所述供电组件提供的射频信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励