安徽元琛材料研究设计院有限公司蒯贇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽元琛材料研究设计院有限公司申请的专利一种MEMS气体传感器及其制备方法与在汽车尾气检测中的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116256394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310318801.1，技术领域涉及：G01N27/00；该发明授权一种MEMS气体传感器及其制备方法与在汽车尾气检测中的应用是由蒯贇;李磊;叶晓冬设计研发完成，并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS气体传感器及其制备方法与在汽车尾气检测中的应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS气体传感器及其制备方法与在汽车尾气检测中的应用，具体涉及气体传感器应用技术领域。制备方法包括以下步骤：1厚膜材料制备，在浆料中掺入碳纤维粉末，得到掺入碳纤维材料的浆料，2敏感材料涂覆，3器件退火处理。有益效果：本发明的气敏材料掺入一定比例的碳纤维材料，加固了厚膜敏感材料组织，使材料更加抗气流冲击，气敏反应平稳，抗波动性强，并且制备方式简易；采用一定配比碳纤维材料掺杂，使气体传感器具备高灵敏度的同时兼具抗气流冲击稳定性；同时该气敏材料的更加耐磨损，使用寿命长。
本发明授权一种MEMS气体传感器及其制备方法与在汽车尾气检测中的应用在权利要求书中公布了：1.一种MEMS气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1厚膜材料制备：包括以下步骤： S1：将助剂加入到溶剂中，加热至固体全部溶解，获得淡黄色粘稠状溶液；所述助剂为羟甲基纤维素、司班85和氢化蓖麻油的混合物；所述溶剂为异丙醇和邻苯二甲酸丁酯的混合物； S2：将步骤S1获得的溶液分散，在搅拌条件下，将氧化锡粉料加入到溶液中，混合均匀，得到浆料； S3：将步骤S2获得的浆料进行砂磨，再取碳纤维粉末进行研磨； S4：将步骤S3研磨过的浆料进行搅拌，在搅拌条件下，加入步骤S3研磨过的碳纤维粉末，混合均匀，得到掺入碳纤维材料的浆料，所述S3中碳纤维粉末与步骤S2中氧化锡粉料的质量比为1-3：48； 2敏感材料涂覆：将掺入碳纤维材料的浆料均匀点涂在MEMS器件的叉指电极上，先烘烤，再烘干； 3器件退火处理：将经过步骤2处理的器件加热、冷却，即得。
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