利诺士尖端材料有限公司郑喆获国家专利权
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龙图腾网获悉利诺士尖端材料有限公司申请的专利晶圆背面研磨用粘结膜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116396698B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211723249.6,技术领域涉及:B32B7/023;该发明授权晶圆背面研磨用粘结膜是由郑喆;高乾英;金荣建;崔裁原设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆背面研磨用粘结膜在说明书摘要公布了:本发明可提供粘结膜,在晶圆的背面研磨晶圆背面研磨或晶圆磨薄或晶圆减薄工序中,为了保护晶圆的表面而使用。更具体地,本发明可提供如下的晶圆背面研磨用粘结膜,即,在形成有凸块的晶圆背面研磨工序中,具有均匀的粘结力及优秀的晶圆表面保护效果缓冲效果,与此同时,在背面研磨后去除剥离粘结膜时,减少或抑制粘结剂残留物的产生,具有优秀的加工性。
本发明授权晶圆背面研磨用粘结膜在权利要求书中公布了:1.一种晶圆背面研磨用粘结膜,其特征在于, 包括: 刚性基材层,形成有光散射图案; 第一粘结层,配置于上述刚性基材层上; 第二粘结层,配置于上述第一粘结层上;以及 第三粘结层,配置于上述第二粘结层上, 上述第二粘结层由包含第二甲基丙烯酸酯类粘结树脂及软化点为30℃~70℃的环氧类粘结剂树脂的第二粘结组合物形成, 以100重量份的上述第二粘结组合物为基准,包含5重量份~45重量份的上述环氧类粘结剂树脂, 上述刚性基材层的总透射率为80%以上,漫透射率为5%~20%。
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