湖北九峰山实验室朱莉莉获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北九峰山实验室申请的专利一种电容式MEMS麦克风及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116567506B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310558443.1，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权一种电容式MEMS麦克风及其制作方法是由朱莉莉;黄湘俊设计研发完成，并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容式MEMS麦克风及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及声电转换技术领域，提供一种电容式MEMS麦克风及其制作方法，上述的电容式MEMS麦克风包括衬底、振膜、悬挂架及背板；背板设于衬底上；悬挂架设于背板远离衬底的一侧；振膜的边沿悬挂设于悬挂架朝向背板的一侧；其中，振膜的上表面与悬挂架的下表面设有第一间隙，振膜的下表面与背板的上表面设有第二间隙。该电容式MEMS麦克风降低了振膜与悬挂架连接位置的应力，防止振膜因形变过大而破裂，使麦克风具有更高的稳定性，有效地提高了MEMS麦克风的性能。
本发明授权一种电容式MEMS麦克风及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种电容式MEMS麦克风，其特征在于，包括：衬底、振膜、悬挂架及背板； 所述背板设于所述衬底上； 所述悬挂架设于所述背板远离所述衬底的一侧； 所述振膜的边沿悬挂设于所述悬挂架朝向所述背板的一侧； 其中，所述振膜的上表面与所述悬挂架的下表面设有第一间隙，所述振膜的下表面与所述背板的上表面设有第二间隙； 所述振膜包括振膜本体和弹性部； 所述弹性部为多个，多个所述弹性部沿所述振膜本体的周向方向布设于所述振膜本体的外周侧； 所述悬挂架包括第一安装部、第二安装部和悬挂部； 所述第一安装部呈环形，安装于所述背板上； 所述第二安装部连接于所述第一安装部背离所述背板的一侧，与所述第一安装部垂直设置； 所述悬挂部设于所述第二安装部的下表面，所述弹性部与所述悬挂部的下表面连接，以使所述第二安装部的下表面与所述振膜本体的上表面形成所述第一间隙； 所述衬底设有空腔，所述振膜设于所述空腔上，所述空腔用于供声压穿过，以使所述声压作用于所述振膜上。
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