长鑫存储技术有限公司徐莹获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116820035B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210281000.8，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备是由徐莹;郑悦文设计研发完成，并于2022-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备在说明书摘要公布了：本公开提供了一种半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备，该方法包括：获取用于控制半导体设备执行半导体生产的执行文件；解析执行文件定义的需执行的独立工艺流程及执行顺序，将各独立工艺流程作为路径节点并根据执行顺序得到主路径；解析对各路径节点是否定义对应的子路径，及是否设置自动跳转到子路径执行对应控制后再跳转回来的自动跳转功能，子路径为子工艺流程；接收指示删除子路径的指令，确定指示删除的子路径对应的路径节点设置有自动跳转功能时，输出禁止删除子路径的提示信息。本公开通过系统判断是否可以删除此子路径节省用户查询时间，准确率高，提高半导体产品的良率。
本发明授权半导体工艺流程的控制方法及系统、电子设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺流程的控制方法，其特征在于， 所述方法包括： 获取用于控制半导体设备执行半导体生产的执行文件； 解析所述执行文件定义的需执行的独立工艺流程及执行顺序，将各独立工艺流程作为路径节点并根据所述执行顺序得到主路径； 解析对各路径节点是否定义对应的子路径，及是否设置自动跳转到子路径执行对应控制后再跳转回来的自动跳转功能，所述子路径为子工艺流程； 接收指示删除子路径的指令，确定指示删除的子路径对应的路径节点设置有自动跳转功能时，输出禁止删除子路径的提示信息。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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