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龙图腾网获悉江苏科技大学申请的专利一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116899438B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310748594.3，技术领域涉及：B01F27/90；该发明授权一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置是由夏晶;何新远;李晓盼;沈俊甫;刘开勇;樊玉杰;周元凯设计研发完成，并于2023-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置。属于半导体加工用抛光液供给技术领域；包括基座、锁紧阀、气动撑杆、支承板、支承架、环形测力传感器、物料缸、料缸盖、增压泵、触控板、轴承盖、大齿轮、压力杆、抛光头、抛光头下盘、控流盘、小齿轮、电机、电磁阀、搅拌缸、搅缸盖、弹簧、大键、小键、密封圈、动环座、压力簧、压力环、转动环、静止环、轴承座、滚珠、静管、油腔盖、搅拌器及垫片等设备；此装置可解决在化学机械抛光工艺过程中的抛光液配制、搅拌、输送、精准施液等涉及化学机械抛光工艺过程中抛光液供给的问题，以简化人工操作程序，提高工作效率。

本发明授权一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置，其特征在于：位于机体最下方的基座0，在所述基座0上壁的一侧安置有气动撑杆2，在所述气动撑杆2的上端安置有支承板3； 在所述气动撑杆2上安置有锁紧阀1； 所述支承板3通过带有锁紧阀1的气动撑杆2连接安装在基座0的正上方； 还包括搅拌缸22，在所述搅拌缸22的底端安置有三条腿，在所述支承板3的上端面上的内围处开设有三个限制孔二，所述搅拌缸22的三条腿的底端插设在支承板3上端面上对应的三个限制孔二内； 在所述搅拌缸22的下端开设有出液管，在所述出液管的出口处安置有电磁阀一21； 在所述支承板3的上壁上安置有增压泵9，所述增压泵9由穿设的四颗螺栓七43与支承板3上端面上的四个对应的螺纹孔相互配合、且固定在支承板3的上端面上； 在所述增压泵9上开设有进液口与出液口， 在所述出液口的下端连接有贯穿支承板3的静管41， 所述出液管的出液口与增压泵9的进液口相连接； 所述增压泵9的出液口与静管41的进液口相连接； 在所述支承板3上、所述静管41的外壁上套设有相适配的圆环，所述静管41由安置的八个螺栓三20固定在支承板3上端面相应凸起的带有八个周向均匀分布通孔的圆环中； 在所述静管41下端的外壁上安置有轴承盖11， 所述轴承盖11的底端与静管41之间通过安置的螺栓五29活动连接； 在所述轴承盖11的内部安置有轴承座39，所述轴承座39由下端面安置的八个销钉与静管41的静管轴肩上端面上的八个槽口对应配合连接， 在所述轴承座39的上端面开设有截面为半圆形的环形槽，在所述环形槽中安置有若干个滚珠40，若干个所述的滚珠40均匀分布在所述的环形槽内； 在所述静管41的下端还安置有静止环36，所述静止环36由安设的八个螺栓六37与静管41的静管轴肩下端面的相应螺纹孔配合连接且固定到静管41上； 在所述静管41与静止环36之间安设有密封圈三38，所述密封圈三38安置在静管41与静止环36的接触面之间； 还包括抛光头14、密封圈一30、动环座31、至少八个压力簧32、压力环33、两个密封圈二34、转动环35及油腔盖42； 所述动环座31由八个螺栓九47与抛光头14上部的轴肩上表面对应的八个螺纹孔配合连接固定在抛光头14的上部； 八个压力簧32套在动环座31上表面上八个周向均匀分布的限位中空立柱上，压力环33下表面八个周向均匀分布的限位通孔立柱插入相应的压力簧32中； 所述转动环35下表面的八个限位立柱插入相应的压力环33上的限位立柱通孔、压力簧32、动环座31上相应的限位中空立柱的孔中； 两个大小不同的密封圈二34挤压在压力环33与转动环35之间； 所述抛光头14由八个周向均匀分布的螺栓五29与轴承盖11外壁下端面的八个相应螺纹孔配合连接固定到轴承盖11上； 所述抛光头14的中心为空心轴，其中空部分为抛光液流动的管道，在所述抛光头14底部安置有四个周向均匀分布的管状导流槽，所述管状导流槽与中空部分相连通，在所述抛光头14的底部还安置有四个周向均匀分布的用以放置工件的通孔立柱； 所述密封圈一30挤压在轴承盖11外壁与抛光头14的轴肩之间； 所述油腔盖42安装在轴承盖11的侧壁的斜向螺纹孔上。

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