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龙图腾网获悉广东省科学院新材料研究所申请的专利一种钛铝金属旋转靶及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117144350B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311301640.1，技术领域涉及：C23C24/04；该发明授权一种钛铝金属旋转靶及其制备方法是由谢迎春;褚欣;胡泽宇;刘敏;尹斌;邓春明设计研发完成，并于2023-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钛铝金属旋转靶及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种钛铝金属旋转靶及其制备方法，属于靶材技术领域。该制备方法包括以下步骤：利用常规冷喷涂方式于不锈钢背管表面制备纯银涂层；利用真空冷喷涂方式于纯银涂层表面沉积钛铝沉积层，且，在沉积钛铝沉积层的同时，利用激光冲击强化工艺对沉积层进行激光冲击；不断重复进行上述步骤直至钛铝沉积层的总厚度达到预设厚度。该方法操作简单，材料利用率高，靶材尺寸不受限，可制备大型旋转靶材，制备所得的靶材致密度高、晶粒小、组织均匀、气体含量低、与背管结合强度高，其中，纯银涂层可使靶材导电和溅射更加均匀。

本发明授权一种钛铝金属旋转靶及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种钛铝金属旋转靶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：利用常规冷喷涂方式于不锈钢背管的表面制备纯银涂层；制备所述纯银涂层的银粉的粒度为1-5μm； S2：利用真空冷喷涂方式于所述纯银涂层的表面沉积钛铝沉积层，且，在沉积所述钛铝沉积层的同时，利用激光冲击强化工艺对沉积层进行激光冲击；制备所述钛铝沉积层的钛源和铝源分别为钛单质粉和铝单质粉；所述钛单质粉的粒度为0.1-30μm，所述铝单质粉的粒度为5-45μm；所述钛单质粉的质量占所述钛单质粉与所述铝单质粉总量的1-50%； 真空冷喷涂的工作气体为氦气；喷涂压力为2.5-3.5MPa；喷涂温度为400-600℃；喷涂距离为30mm；喷涂时真空度＜1Kpa； S3：不断重复进行S2直至所述钛铝沉积层的总厚度达到预设厚度； S1之前，还包括：对所述不锈钢背管的表面进行可控腐蚀矩阵式粗化；所述可控腐蚀矩阵式粗化对应的矩阵式微坑的直径为5μm、深度为5-8μm； S3之后还包括：S4：对不锈钢背管的两端端部的位置额外再多沉积5-10mm的钛铝沉积层。

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