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龙图腾网获悉苏州盛拓半导体科技有限公司申请的专利一种掩模版上载装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117465979B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311573113.6，技术领域涉及：B65G47/91；该发明授权一种掩模版上载装置及方法是由陈庆生;李中秋;高建;陈康;姚俊;刘佳鹏;霍旭坤;宋明瀚设计研发完成，并于2023-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩模版上载装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种掩模版上载装置及方法，装置包括托盘、定位组件、第一吸附组件、升降机构和第二吸附组件，定位组件设置在托盘上，用于将掩模版固定在托盘的预设位置并使掩模版仅可向上移动，第一吸附组件设置在托盘上且位于掩模版下方，升降机构设置在第一吸附组件下端以驱动第一吸附组件上升以带动掩模版上升，掩模版上升过程中，第一吸附组件对其进行吸附，无需额外的工装即可完成上载过程，操作简单，有效提升效率，且定位组件固定设置在托盘上，重复上载过程中，定位组件和固定机构均无需拆下，可实现高精度的重复上载。本发明无需额外的工装，操作简单，提升效率，掩模版上载的重复精度高。

本发明授权一种掩模版上载装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种掩模版上载装置，用于将掩模版上载至光刻机的固定机构上，其特征在于：包括托盘、定位组件、第一吸附组件、升降机构，定位组件设置在托盘上，用于将掩模版固定在托盘的预设位置并使掩模版仅可向上移动，第一吸附组件设置在托盘上且位于掩模版下方，升降机构设置在第一吸附组件下端以驱动第一吸附组件上升以带动掩模版上升；定位组件包括多个定位柱和顶紧机构，所述顶紧机构包括移动件、第一弹簧、水平限位件和活动卡件，移动件下端设置有沿其长度方向的条形槽，第一弹簧和水平限位件设置在托盘上且位于条形槽内，第一弹簧一端固定在水平限位件上，另一端接触条形槽前端，活动卡件可按压地设置在托盘上，移动件下端设置有供活动卡件插入的卡槽，移动件上端具有抵住掩模版的抵紧部，未顶紧时，第一弹簧处于压缩状态，活动卡件插入卡槽内；所述顶紧机构还包括Z向限位件，Z向限位件包括设置在移动件上且与条形槽连通的腰型孔、设置在托盘上的螺孔和穿过腰型孔锁紧在螺孔内的螺栓，腰型孔沿移动件长度方向延伸；所述活动卡件包括按压部、设置在托盘与按压部之间的第二弹簧、以及与按压部连接可插入卡槽的卡块，卡块前端具有向下倾斜的第二斜面，所述移动件后端具有与第二斜面匹配的第三斜面，向下按压按压部，向前推动移动件直至抵住掩模版，此时第一弹簧处于压缩状态，放开按压部，卡块的第二斜面抵住移动件的第三斜面；所述第一吸附组件包括可向上移动地设置在托盘上的吸盘和设置在吸盘上的气囊，升降机构动作前，气囊充气以使气囊具有不大于掩模版重力的弹力，升降机构动作使吸盘上升至气囊与掩模版接触时停止动作，增加气囊弹力，使得气囊弹力大于掩模版重力，升降机构继续动作直至使掩模版与所述固定机构贴合。

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