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龙图腾网获悉福建华清电子材料科技有限公司申请的专利一种高效氮化硅粉制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117776123B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311707870.8，技术领域涉及：C01B21/068；该发明授权一种高效氮化硅粉制备方法是由黄文思;冯家伟;施纯锡设计研发完成，并于2023-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高效氮化硅粉制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及氮化硅粉生产技术领域，本发明公开了一种高效氮化硅粉制备方法，包括如下步骤：步骤一、将结晶硅装入球磨机中，加入球磨介质用球磨机进行球磨破碎，形成小于30微米的硅粉料；步骤二、向高温容器中通入氮气以排除容器内的空气，然后送电升温，使高温容器的温度达到300‑500℃并保温5‑10分钟；步骤三、将破碎好的硅粉料取出烘干得到硅干粉；本发明将高纯度的结晶硅研磨成超细的硅粉料，通过喷雾造粒的方式将烘干得到硅粉料喷吹内含有氮气的高温容器中，从而使硅粉料悬浮在氮气中进行氮化，增加了接触面积，提高硅粉的氮化率，而且氮化时便于热量的释放，氮化的硅粉料采用气流粉碎机二次粉碎，平均粒度较小，实现了快速高效率的制备氮化硅粉。

本发明授权一种高效氮化硅粉制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高效氮化硅粉制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一、将结晶硅装入球磨机中，加入球磨介质用球磨机进行球磨破碎，形成小于30微米的硅粉料； 步骤二、向高温容器中通入氮气以排除容器内的空气，然后送电升温，使高温容器的温度达到300-500℃并保温5-10分钟； 步骤三、将破碎好的硅粉料取出烘干得到硅干粉，同时将高温容器加热到1500-1600℃，接着在保护气体下将硅干粉喷吹进入高温容器中，并向高温容器中继续通入氮气，在炉内氮气流速稳定的条件下，硅干粉与氮气充分反应； 步骤四、反应后的硅干粉随炉冷却至室温，然后停止通入氮气，收集得到氮化硅产物，粉碎后过筛得到高纯氮化硅粉； 其中： 所述硅干粉烘干时采用烘箱在50-70℃的环境下烘干10-12小时，水分含量小于10%，喷吹前硅干粉升温至200-300℃进行预热； 所述硅干粉喷吹进入高温容器时的进粉速率为10-12千克小时，所述保护气体为氩气，氩气流量为40-60升分钟； 所述高温容器内的压力保持在3-6MPa，所述高温容器内的氮气溶度大于80%； 所述粉碎时将氮化硅产物送入气流粉碎机，氮化硅产物的进料速度为20-30千克小时，进料气压为0.8-1.2MPa，所述氮化硅产物在气流粉碎机内与高压气体中进行冲击粉碎后出料。

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