买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118737796B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410793668.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基片处理系统是由沼仓雅博;丰卷俊明;贝瀬精一;武山裕纪设计研发完成，并于2019-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基片处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。

本发明授权基片处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基片处理系统，其具有： 在常压气氛下输送基片和消耗部件的常压输送室； 用于对所述基片进行处理的多个真空处理室； 真空输送室，其在减压气氛下输送所述基片和包含使用完的消耗部件或使用前的消耗部件的所述消耗部件； 一个以上的装载互锁单元，其配置在所述常压输送室与所述真空输送室之间，供被输送的所述基片和所述消耗部件通过； 多个安装部，其设置在所述常压输送室，具有能够使在多个保管部的各保管部与所述常压输送室之间被输送的所述基片或者所述消耗部件通过的端口，其中，所述多个保管部收纳所述基片或者所述消耗部件，所述多个安装部能够可拆装地安装所述多个保管部的每一个； 第1输送机构，其在所述一个以上的装载互锁单元与所述真空处理室之间经由所述真空输送室输送所述基片和所述消耗部件； 第2输送机构，其在所述多个保管部与所述一个以上的装载互锁单元之间经由所述常压输送室输送所述基片和所述消耗部件；和 控制装置， 所述多个安装部中的至少一个安装部能够安装：基片用的第1保管部，其收纳所述基片且不收纳所述消耗部件；和消耗部件用的第2保管部，其收纳所述消耗部件且不收纳所述基片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。