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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种光学测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119000678B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411217932.1，技术领域涉及：G01N21/84；该发明授权一种光学测量装置是由霍树春;姜行健;李冠楠;陈晓梅;石俊凯;董登峰;周维虎设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学测量装置在说明书摘要公布了：一种光学测量装置，适用于测量待测微纳米薄膜，待测微纳米薄膜包括透明部分和非透明部分，光学测量装置包括：样品台，适用于容纳待测微纳米薄膜；光产生组件，适用于发出测量光；透镜组件，适用于使测量光聚焦至待测微纳米薄膜表面的目标位置，透镜组件包括：第一部分和第二部分，每个区域仅允许测量光中具有相应数值孔径的光束通过；测量光中的第一光束通过第一部分，测量光中的第二光束通过第二部分，第一光束的第一数值孔径小于第二光束的第二数值孔径；第一部分被配置为消除第一光束的色差，第二部分被配置为使第二光束具有色差；检测组件，适用于对来自于待测微纳米薄膜表面的光束进行测量。

本发明授权一种光学测量装置在权利要求书中公布了：1.一种光学测量装置，适用于测量待测微纳米薄膜，所述待测微纳米薄膜包括透明部分和非透明部分，所述光学测量装置包括： 样品台，适用于容纳待测微纳米薄膜； 光产生组件，适用于发出测量光； 透镜组件，所述透镜组件适用于使所述测量光聚焦至待测微纳米薄膜表面的目标位置，所述透镜组件包括： 第一部分和第二部分，每个部分仅允许所述测量光中具有相应数值孔径的光束通过；所述第一部分允许所述测量光中的第一光束通过，所述第二部分允许所述测量光中的第二光束通过，所述第一光束的第一数值孔径小于所述第二光束的第二数值孔径；所述第一部分被配置为能够消除所述第一光束的色差，所述第二部分被配置为使所述第二光束具有色差； 检测组件，适用于对来自于所述待测微纳米薄膜表面的光束进行测量； 其中，在所述目标位置属于透明部分的情况下，所述第一光束在所述目标位置同时发生反射和透射，得到第一反射光束和透射光束，所述透射光束进入所述待测微纳米薄膜内部后自所述待测微纳米薄膜内部出射，与所述第一反射光束叠加后得到干涉光束；所述检测组件适用于对所述干涉光束进行检测，以获取所述目标位置所对应的透明部分的厚度；在所述目标位置属于非透明部分的情况下，所述第二光束在所述目标位置发生反射，得到第二反射光束；所述检测组件用于对所述第二反射光束进行测量，以获取所述目标位置所对应的非透明部分的三维形貌。

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