买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119121242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411016461.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法是由何冬霜;石锗元;李君;戴毅;陈庶舒;肖伟设计研发完成，并于2024-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法，属于静电卡盘技术领域，包括：S1：通过离心喷雾造粒制备添加氧化钇的氮化铝造粒粉；S2：使用干压模具进行氮化铝加热盘生坯成型：S3：在空气气氛排胶炉中进行氮化铝加热盘生坯排胶，生坯排胶量为3.5～5.5％；S4：采用石墨热压炉进行烧结，加压温度点1200～1500℃，加压压力15～35MPa，升温速率3～5℃min，高温1700～1850℃，高温保温4～8小时，降温速率0.5～2℃min；结合氮化铝陶瓷烧结液相温度点，晶粒快速发育的温度点，通过控制烧结时的加压压力，合适的加压温度点，在烧结初期尽可能多的排出碳，在烧结中期加热棒碳挥发之前完成晶粒的发育致密化，进而减少热压炉加热棒碳扩散进入氮化铝陶瓷体。

本发明授权一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法在权利要求书中公布了：1.一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法，其特征在于，所述方法包括： S1：通过离心喷雾造粒制备添加氧化钇的氮化铝造粒粉，其中作为烧结助剂的氧化钇加入比例为2～5wt%； S2：使用干压模具进行氮化铝加热盘生坯成型： 根据加热盘的尺寸，以及粉料的压缩比及烧结收缩比，通过填粉控制每层厚度值，使其烧结后达到尺寸要求，具体成型工艺如下： 填粉-压制-放入加热丝-填粉-压制-脱模，得到内置加热丝的氮化铝加热盘生坯，其中氮化铝加热盘生坯的密度为1.8～2.0gcm3，加热丝为钼丝； S3：在空气气氛排胶炉中进行氮化铝加热盘生坯排胶，氮化铝加热盘生坯的排胶量为3.5～5.5%； S4：采用石墨热压炉进行烧结，加压温度点为1400℃，加压压力为25MPa，升温速率为3～5℃min，高温为1700～1850℃，高温保温时间为4～8小时，降温速率为0.5～2℃min； 结合氮化铝陶瓷烧结液相温度点，晶粒快速发育的温度点，通过控制烧结时的加压压力，合适的加压温度点，在烧结初期尽可能多的排出碳，在烧结中期加热棒碳挥发之前完成晶粒的发育致密化，进而减少热压炉加热棒碳扩散进入氮化铝陶瓷体； S5：对烧结出炉的氮化铝加热盘进行加工，检测其内置钼丝阻值； 对烧结出炉的氮化铝加热盘进行切样，取钼丝所在位置，进行扫描电镜检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人君原电子科技(海宁)有限公司，其通讯地址为：314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。