季华实验室黄星星获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种远程等离子源腔体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119255467B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411519066.1,技术领域涉及:H05H1/46;该发明授权一种远程等离子源腔体是由黄星星;杨振怀;郭晓东;胡强;侯少毅设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子源腔体在说明书摘要公布了:本申请属于等离子产成设备技术领域,公开了一种远程等离子源腔体,包括环形真空腔、进气口、出气口、磁芯组件和点火线圈;所述环形真空腔包括多个依次首尾连接形成闭环流道的直线腔道,至少一个所述直线腔道上缠绕有所述磁芯组件,所述进气口和所述出气口分别连接在两个不同的所述直线腔道上;任意相邻的两个所述直线腔道的连接处均设置有调节电极对,所述调节电极对用于产生偏转电场,以驱使气流中的带电粒子转向以避免所述带电粒子与所述环形真空腔的周向侧壁接触;能够延长腔体使用寿命、提高等离子体纯度、改善等离子体均匀性和稳定性。
本发明授权一种远程等离子源腔体在权利要求书中公布了:1.一种远程等离子源腔体,包括环形真空腔1、进气口2、出气口3、磁芯组件4和点火线圈5;其特征在于,所述环形真空腔1包括多个依次首尾连接形成闭环流道的直线腔道101,至少一个所述直线腔道101上缠绕有所述磁芯组件4,所述进气口2和所述出气口3分别连接在两个不同的所述直线腔道101上;任意相邻的两个所述直线腔道101的连接处均设置有调节电极对6,所述调节电极对6用于产生偏转电场,以驱使气流中的带电粒子转向从而避免所述带电粒子与所述环形真空腔1的周向侧壁接触; 任意相邻的两个所述直线腔道101之间通过一连接腔道102连接,所述调节电极对6设置在所述连接腔道102处; 所述连接腔道102与上游相邻的所述直线腔道101的连接处的外周向侧壁的内表面处设置有导流件7,所述导流件7朝内的一侧设置有导流面701,所述导流面701用于引导气流转向。
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