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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利晶圆处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119340238B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410297570.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆处理装置是由张彭设计研发完成，并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种晶圆处理装置，晶圆处理装置包括：炉管、装卸区和隔离门装置，装卸区包括经连通区相连的晶舟装卸区和晶圆装卸区，晶舟装卸区与炉管连通，晶舟装卸区包括第一晶舟装卸机，第一晶舟装卸机至少用于将晶舟移入或移出炉管，晶圆装卸区包括晶圆装卸机，晶圆装卸机用于将晶圆移入或移出晶舟；隔离门装置，设置在连通区，隔离门装置能够隔离晶舟装卸区和晶圆装卸区，且隔离门装置能够工作，使晶舟能够通过连通区在晶舟装卸区和晶圆装卸区之间流转。隔离门装置阻断了炉管中反应产生的副产物通过连通区，降低了副产物污染晶舟及晶舟上的晶圆的风险，提高了产品的良率。

本发明授权晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括： 炉管； 装卸区，包括经连通区相连的晶舟装卸区和晶圆装卸区，所述晶舟装卸区与所述炉管连通，所述晶舟装卸区包括第一晶舟装卸机，所述第一晶舟装卸机至少用于将晶舟移入或移出所述炉管，所述晶圆装卸区包括晶圆装卸机，所述晶圆装卸机至少用于将晶圆移入或移出晶舟； 隔离门装置，包括第一隔离门组件，所述第一隔离门组件包括第一隔离门和多个晶舟移载机构，每个所述晶舟移载机构用于承载及移动至少一个晶舟，所述第一隔离门为多翼旋转门，所述多翼旋转门包括至少三个门翼，所述至少三个门翼包括两个主门翼和至少一个副门翼，两个主门翼相连以划分所述第一隔离门的第一侧和第二侧，所述至少一个副门翼位于所述第一隔离门的第一侧和或所述第一隔离门的第二侧；相邻所述门翼之间夹角相等，所述晶舟移载机构一一对应设置在相邻所述门翼之间，所述晶舟移载机构和所述多翼旋转门能够绕旋转中心同步转动，驱动晶舟通过所述连通区在所述晶舟装卸区和所述晶圆装卸区之间流转； 所述晶舟装卸区包括多个功能子区和或所述晶圆装卸区包括多个功能子区，至少一个所述功能子区用于预处理、冷却或暂存晶舟，相邻所述门翼之间形成隔离分区，所述多翼旋转门和所述晶舟移载机构绕所述旋转中心转动，使每个所述隔离分区依次与所述功能子区连通； 所述第一隔离门组件还包括密封件，在所述第一隔离门和所述晶舟移载机构转动时，所述密封件与所述第一隔离门形成间隔，在所述第一隔离门和所述晶舟移载机构停止转动时，所述密封件密封所述装卸区和所述第一隔离门之间间隙。

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