黑龙江省原子能研究院赵弘韬获国家专利权
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龙图腾网获悉黑龙江省原子能研究院申请的专利一种奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi-三氧化二钇涂层的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119411086B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411582759.5,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi-三氧化二钇涂层的方法是由赵弘韬;李志刚;李金凤;黄洪涛;张建伟;田波;张楠设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi-三氧化二钇涂层的方法在说明书摘要公布了:一种奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi‑三氧化二钇涂层的方法,它涉及钢表面磁控溅射涂层的方法。本发明要解决现有铅铋合金作为冷却剂对结构材料具有严重侵蚀的问题。方法:一、靶材安装和溅射预处理;二、磁控溅射。本发明用于奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi‑三氧化二钇涂层。
本发明授权一种奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi-三氧化二钇涂层的方法在权利要求书中公布了:1.一种奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi-三氧化二钇涂层的方法,其特征在于它是按以下步骤进行的: 一、靶材安装和溅射预处理: 将53Fe18Cr13Al8Ti-8Y2O3复合靶材安装到直流磁控溅射装置的靶位上,将奥氏体316L钢基材放置在直流磁控溅射装置的样品台上,调节样品与靶头之间的距离,关闭腔室门后,抽真空并通入氩气,开启负偏置电压电源,然后对奥氏体316L钢基材进行预溅射; 所述的53Fe18Cr13Al8Ti-8Y2O3复合靶材,具体是按以下步骤进行制备的:将Fe粉、Cr粉、Al粉、Ti粉及Y2O3陶瓷氧化物粉末按原子比为53:18:13:8:8混合,得到合金化的混合粉末,在Ar气氛、压力为260MPa~300MPa及烧结温度为900℃~1000℃的条件下,将合金化的混合粉末加压烧结5min~10min,得到FeCrAlTi-Y2O3复合靶材; 二、磁控溅射: 预溅射后,调整样品台转速为10rmin~15rmin,在腔室内工作气压为0.4Pa~0.7Pa、腔室内温度为60℃~150℃、电流为0.2A~0.4A及负偏置电压为0V~200V的条件下磁控溅射镀膜,然后保持腔室真空度并冷却到室温,最后取出样品,即完成奥氏体316L钢表面磁控溅射FeCrAlTi-三氧化二钇涂层的方法。
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