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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种特气输送元器件性能测试系统、方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119517813B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411954791.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种特气输送元器件性能测试系统、方法及半导体工艺设备是由郭晋禛;纪雪峰设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种特气输送元器件性能测试系统、方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种特气输送元器件性能测试系统、方法及半导体工艺设备，特气输送元器件性能测试系统包括第一气体输送单元、至少一测试单元和第一真空单元。其优点在于，通过将测试单元分别与第一气体输送单元、第一真空单元连通，使得测试单元可对特气输送元器件进行外漏检测；此外，测试单元上还可安装手动隔膜阀、气动隔膜阀、真空发送器、单向阀、调压阀等多种元器件，从而可使得系统可实现多样产品的测试，提升整体测试系统的适用性。

本发明授权一种特气输送元器件性能测试系统、方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种特气输送元器件性能测试系统，其特征在于，包括： 第一气体输送单元，所述第一气体输送单元与高压氮气源连通，用于输送高压氮气以进行外漏检测； 至少一测试单元，所述测试单元设置于所述第一气体输送单元的下游，并与所述第一气体输送单元连通，用于与所述第一气体输送单元配合以进行外漏检测； 第一真空单元，所述第一真空单元设置于所述测试单元的下游，并与所述测试单元连通，用于排放测试废气； 其中，所述第一气体输送单元包括： 第一气体输送元件，所述第一气体输送元件分别与高压氮气源、所述测试单元连通，用于输送高压氮气至所述测试单元； 纯化元件，所述纯化元件设置于所述第一气体输送元件，用于纯化高压氮气以提高高压氮气的纯度、降低高压氮气的湿度； 过滤元件，所述过滤元件设置于所述第一气体输送元件，并位于所述纯化元件的下游，用于过滤高压氮气以去除高压氮气的颗粒物； 第一手动控制元件，所述第一手动控制元件设置于所述第一气体输送元件，并位于所述过滤元件的下游，用于手动控制所述第一气体输送元件的开闭； 第一自动控制元件，所述第一自动控制元件设置于所述第一气体输送元件，并位于所述第一手动控制元件的下游，用于自动控制所述第一气体输送元件的开闭； 第一检测元件，所述第一检测元件设置于所述第一气体输送元件，并位于所述第一自动控制元件的下游，用于检测所述第一气体输送元件的温度、压力； 其中，所述测试单元包括： 第一测试气体输入元件，所述第一测试气体输入元件与所述第一气体输送单元连通，用于获取高压氮气； 测试盘元件，所述测试盘元件与所述第一测试气体输入元件连通，用于外漏检测； 第一测试气体输出元件，所述第一测试气体输出元件分别与所述测试盘元件、所述第一真空单元连通，用于输出测试废气； 第一保温元件，所述第一保温元件设置于所述第一测试气体输入元件，用于保温； 第二保温元件，所述第二保温元件设置于所述第一测试气体输出元件，用于保温； 第二手动控制元件，所述第二手动控制元件设置于所述第一测试气体输入元件，用于手动控制所述第一测试气体输入元件的开闭； 第二自动控制元件，所述第二自动控制元件设置于所述第一测试气体输入元件，并位于所述第二手动控制元件的上游，用于自动控制所述第一测试气体输入元件的开闭； 第二检测元件，所述第二检测元件设置于所述第一测试气体输入元件，并位于所述第二手动控制元件的下游，用于检测所述第一测试气体输入元件的温度、压力； 第三检测元件，所述第三检测元件设置于所述第一测试气体输出元件，用于检测所述第一测试气体输出元件的温度、压力； 第三手动控制元件，所述第三手动控制元件设置于所述第一测试气体输出元件，并位于所述第三检测元件的下游，用于手动控制所述第一测试气体输出元件的开闭； 第三自动控制元件，所述第三自动控制元件设置于所述第一测试气体输出元件，并位于所述第三手动控制元件的下游，用于自动控制所述第一测试气体输出元件的开闭； 第四检测元件，所述第四检测元件设置于所述第一测试气体输出元件，并位于所述第三自动控制元件的下游，用于检测所述第一测试气体输出元件的温度、压力； 其中，所述第一真空单元包括： 第一排放气体输送元件，所述第一排放气体输送元件设置于所述测试单元的下游，并与所述测试单元连通，用于排放测试废气； 第一真空元件，所述第一真空元件设置于所述第一排放气体输送元件，用于使所述第一排放气体输送元件形成真空环境； 第四手动控制元件，所述第四手动控制元件设置于所述第一排放气体输送元件，用于手动控制所述第一排放气体输送元件的开闭； 第四自动控制元件，所述第四自动控制元件设置于所述第一排放气体输送元件，并位于所述第四手动控制元件的下游，用于自动控制所述第一排放气体输送元件的开闭； 第一单向元件，所述第一单向元件设置于所述第一排放气体输送元件，并位于所述第四手动控制元件的下游、所述第一真空元件的上游，用于使测试废气单向流动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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