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洛阳船舶材料研究所(中国船舶集团有限公司第七二五研究所)赵延飞获国家专利权

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龙图腾网获悉洛阳船舶材料研究所(中国船舶集团有限公司第七二五研究所)申请的专利一种高致密强绝缘的超厚碳掺杂陶瓷涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119615079B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411749029.X,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种高致密强绝缘的超厚碳掺杂陶瓷涂层及其制备方法是由赵延飞;刘瑶瑶;李龙博;谢述锋;陈令杰设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高致密强绝缘的超厚碳掺杂陶瓷涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种高致密强绝缘的超厚碳掺杂陶瓷涂层及其制备方法,包括如下步骤:S1、基体前处理:所述前处理依次包括抛光、化学清洗;S2、等离子溅射清洗;S3、沉积打底层;所述打底层为TiTiC打底层或CrCrN打底层;所述打底层的厚度为0.2‑0.8μm;S4、在打底层上沉积碳基中间层;所述碳基中间层的厚度为2~10μm;S5、在碳基中间层上沉积CSiO2Al2O3陶瓷面层;所述CSiO2Al2O3陶瓷面层的厚度为10~50μm。本发明制备的涂层总厚度能够达到45~60μm,而且兼顾高致密、高绝缘性、高结合力、高耐磨性;而且该制备方法简单,只需要在基材上沉积三层,既可得到该陶瓷涂层。

本发明授权一种高致密强绝缘的超厚碳掺杂陶瓷涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高致密强绝缘的超厚碳掺杂陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: S1、基体前处理:所述前处理依次包括抛光、化学清洗; S2、等离子溅射清洗; S3、沉积打底层;所述打底层为TiTiC打底层或CrCrN打底层; S4、在打底层上沉积碳基中间层; S5、在碳基中间层上沉积CSiO2Al2O3陶瓷面层; 所述打底层的厚度为0.2-0.8μm,所述碳基中间层的厚度为2~10μm,所述CSiO2Al2O3陶瓷面层的厚度为10~50μm,所述超厚碳掺杂陶瓷涂层的总厚度为45~60μm;所述超厚碳掺杂陶瓷涂层的绝缘强度为700-1100MΩ,结合力为25-40N,硬度为600-1000HV,盐雾3000h膜层完好无腐蚀; 步骤S3具体为,以钛靶材或铬靶材作为溅射原材料,氩气作为溅射气体,甲烷或氮气作为反应气体,在基体表面沉积TiTiC打底层或CrCrN打底层; 步骤S4具体为,关闭钛靶或铬靶,氩气作为溅射气体,甲烷作为反应气体,氢气作为反应气体,在TiTiC打底层或CrCrN打底层上沉积碳基中间层; 步骤S5具体为,以石墨靶材、铝靶材、硅靶材作为溅射原材料,氩气作为溅射气体,氧气作为反应气体,采用直流反应溅射工艺,在碳基中间层上沉积CSiO2Al2O3陶瓷面层; 在步骤S3中,氩气流量为30-35sccm,甲烷或氮气流量为150-175sccm,电压为-600~-800V,电流为20~25A,沉积时间为30~40min; 在步骤S4中,炉体加热温度为160~220℃,甲烷流量为80-120sccm,氢气流量为320-800sccm,功率为1200~1600W,偏压为-800~-1000V,电流为10A,沉积时间为2~3h; 在步骤S5中,施加脉冲偏压为10~20kV,脉冲宽度为20~30微秒,脉冲频率为150~200Hz,氩气工作气压为0.3~0.5Pa,氧气流量为30~80sccm,沉积时间为10~20小时。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人洛阳船舶材料研究所(中国船舶集团有限公司第七二五研究所),其通讯地址为:471027 河南省洛阳市洛龙区滨河南路169号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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