中国科学院近代物理研究所谢文君获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院近代物理研究所申请的专利一种降低铁氧体表面出气率的工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119676930B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510061774.3,技术领域涉及:H05H15/00;该发明授权一种降低铁氧体表面出气率的工艺是由谢文君;蒙峻;杨伟顺;罗成;刘建龙;蔺晓建;朱小荣;焦纪强;柴振设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低铁氧体表面出气率的工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及极高真空获得技术领域,尤其涉及一种降低铁氧体表面出气率的工艺。本发明的工艺包括步骤S1前处理、步骤S2高温除气和步骤S3后处理;其中,步骤S2高温除气包括:将铁氧体放置于除气炉中;将除气炉抽真空;启动除气炉的加热系统,将铁氧体以1‑2℃min的升温速率升温到500‑600℃保温0.5‑1h,再以1‑2℃min的升温速率升温850‑900℃保温1‑2h,然后以1‑2℃min的降温速率降温到300‑500℃,关闭加热系统,使铁氧体随炉冷却。本发明的工艺可有效降低铁氧体表面出气率,使铁氧体能够用于10‑10Pa的极高真空系统,同时能够避免铁氧体在除气过程中出现裂纹损坏的情况。
本发明授权一种降低铁氧体表面出气率的工艺在权利要求书中公布了:1.一种降低铁氧体表面出气率的工艺,其特征在于,包括步骤S1前处理、步骤S2高温除气和步骤S3后处理; 其中,步骤S2高温除气具体包括如下步骤: S2.1:将铁氧体放置于除气炉中; S2.2:将所述除气炉抽真空; S2.3:启动所述除气炉的加热系统,将所述铁氧体以1-2℃min的升温速率升温到500-600℃保温0.5-1h,再以1-2℃min的升温速率升温850-900℃保温1-2h,然后以1-2℃min的降温速率降温到300-500℃,关闭加热系统,使铁氧体随炉冷却; 步骤S1前处理具体包括如下步骤: S1.1:氮气吹扫或吸尘器除杂; S1.2:采用蘸酒精的无纺布对铁氧体表面擦拭,进行初级清洁; S1.3:超声波清洗; S1.4:流动去离子水反复冲洗,直至无泡沫; S1.5:烘干; 步骤S3后处理具体包括除气后外观检测,采用铝箔包裹置于真空环境或氮气环境中保存。
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