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龙图腾网获悉深圳智现未来工业软件有限公司申请的专利一种分类晶圆缺陷的方法、存储介质、设备和程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119722673B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510225406.8，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种分类晶圆缺陷的方法、存储介质、设备和程序产品是由杜云峰;白肖艳;蔡雨桐;夏敏;易丛文;管健设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种分类晶圆缺陷的方法、存储介质、设备和程序产品在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种分类晶圆缺陷的方法、存储介质、设备和程序产品，利用晶圆分类模型执行，晶圆分类模型包括特征提取模块以及分类器，方法包括：获取待分类缺陷图像，根据待分类缺陷图像，确定图像尺寸相同而缺陷部分占比不同的若干子缺陷图像，利用特征提取模块，对若干子缺陷图像分别进行特征提取，得到各缺陷特征，利用分类器，根据各缺陷特征，确定待分类缺陷图像对应的缺陷类型，在检测晶圆缺陷的过程中，首先对待分类缺陷图像进行处理，获取若干将缺陷放大表示的子缺陷图像，进而可保证利用各子缺陷图像确定待分类缺陷图像对应的缺陷类型时，即使待分类缺陷图像中的缺陷尺寸极小，仍具有较高的分类准确度。

本发明授权一种分类晶圆缺陷的方法、存储介质、设备和程序产品在权利要求书中公布了：1.一种分类晶圆缺陷的方法，其特征在于，所述方法利用晶圆分类模型执行，所述晶圆分类模型包括特征提取模块以及分类器，所述特征提取模块包括若干结构相同，参数不同的特征提取网络，所述分类器包括n组结构相同的神经网络层，每组神经网络层与一个预设的缺陷部分占比对应，所述方法包括： 获取待分类缺陷图像； 根据所述待分类缺陷图像，确定图像尺寸相同而缺陷部分占比不同的若干子缺陷图像； 利用所述特征提取模块，对所述若干子缺陷图像分别进行特征提取，得到各缺陷特征； 利用所述分类器，根据所述各缺陷特征，确定所述待分类缺陷图像对应的缺陷类型； 其中，根据所述待分类缺陷图像，确定图像尺寸相同而缺陷部分占比不同的若干子缺陷图像，具体包括： 利用若干尺寸不同的截图框分别截取所述待分类缺陷图像中包含缺陷的目标区域，得到若干局部图像； 将各局部图像放大至与所述待分类缺陷图像尺寸相同，将放大后的各局部图像以及所述待分类缺陷图像作为若干子缺陷图像； 根据所述各缺陷特征，确定所述待分类缺陷图像对应的缺陷类型，具体包括： 将每个缺陷特征根据对应的缺陷部分占比输入分类器中对应的一组神经网络层，得到n组神经网络层输出的n个概率得分； 根据所述n个概率得分加权融合的结果，确定所述待分类缺陷图像对应的缺陷类型。

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