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龙图腾网获悉中电科风华信息装备股份有限公司申请的专利一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764202B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411889885.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法是由王旭东;窦飞;郭晋竹;马增刚设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆缺陷检测技术领域，具体为一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法，主要包括硬件自动防护系统和软件监控及记录系统，硬件自动防护系统包括安全门状态监控模块、安全门旁路模块、紧急响应模块、真空状态监控模块、压缩空气状态监控模块、自动防护处理模块、运动控制模块、光源控制模块。本系统完全依靠硬件实现自动安全防护功能。自动防护过程无上位机软件或嵌入式软件介入，保证实时快速可靠的安全防护响应。自动防护触发后，操作人员确认安全风险已解除并且进行人工干预操作之前，自动防护系统保持触发状态不变。同时，通过旁路开关的控制满足经过专业培训设备维护人员在设备调试和维保过程中的特殊应用需求。

本发明授权一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆缺陷检测设备的自动安全防护系统，其特征在于：包括硬件自动防护系统，硬件自动防护系统包括安全门状态监控模块、安全门旁路模块、紧急响应模块、真空状态监控模块、压缩空气状态监控模块、自动防护处理模块、运动控制模块和光源控制模块；安全门状态监控模块负责设备微环境门的级联和开关状态输出，设备微环境门均安装有安全开关，通过级联方式使得所有门体的安全开关串联，以实现任意一个门体打开，最终的输出信号状态均会改变；安全门旁路模块负责设备安全门的旁路功能，当维护人员需要在设备运行过程中进行设备调试或维护时，闭合旁路控制开关，此时打开设备微环境门不会触发自动防护，保证调试维护工作的正常进行；紧急响应模块负责当设备使用或者维护过程中出现紧急情况时，操作人员通过快速按下紧急开关触发自动安全防护功能，多个紧急停止开关串联在一起，以实现按下任意一个开关，都能触发急停信号；真空状态监控模块负责设备中所有真空端口状态的监控及逻辑运算输出，通过设置真空表的阈值，使得每个真空表均输出一路真空表信号，正常时为逻辑高，异常时为逻辑低,所有真空表信号做逻辑与运算，输出真空状态信号给到自动防护处理模块；压缩空气状态监控模块负责设备中所有压缩空气端口状态的监控及逻辑运算输出，通过设置气压表的阈值，使得每个气压表均输出一路气压表信号，正常时为逻辑高，异常时为逻辑低，所有气压表信号做逻辑与运算，输出压缩空气状态信号给到自动防护处理模块；自动防护处理模块负责设备中安全触发信号逻辑运算和相应控制信号的输出；运动控制模块负责响应自动防护处理模块中对于运动控制部分的指令；光源控制模块负责响应自动防护处理模块中对于光源控制部分的指令。

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