买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种反力测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119880220B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510059790.9，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权一种反力测量系统及方法是由吴剑威;宋赫男;张玉荣;周永松;郑健设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种反力测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及测量装置技术领域，提供了一种反力测量系统及方法，该系统的阻尼测量装置包括第一阻尼器、力传感器、电缸和支撑座；刚度测量装置包括第一气浮导轨、第一光阑组件、第二光阑组件、第二阻尼器、第一光栅尺和第一支撑架；反力测量装置包括第二气浮导轨、第三光阑组件、第四光阑组件、第三阻尼器、第二支撑架、第二光栅尺和阻尼转接板。本发明有效测得高速双向运动机构的反力，便于进行反力调整，有效提高曝光装置稳定性。

本发明授权一种反力测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种反力测量系统，其特征在于，包括通信连接的阻尼测量装置1、刚度测量装置2和反力测量装置3； 所述阻尼测量装置1包括第一阻尼器11、力传感器12、电缸13和支撑座14，所述支撑座14用于设置在地基上，所述电缸13设置在所述支撑座14上，所述电缸13的伸缩端与所述力传感器12的一端连接，所述力传感器12的另一端与所述第一阻尼器11连接； 所述刚度测量装置2包括第一气浮导轨21、第一光阑组件22、第二光阑组件23、第二阻尼器24、第一光栅尺25和第一支撑架26，两个所述第一支撑架26分别设置在所述第一气浮导轨21的两端，并用于与框架连接，所述第一光阑组件22和所述第二光阑组件23设置在所述第一气浮导轨21上，用于沿所述第一气浮导轨21滑动，所述第二阻尼器24用于设置于所述第一气浮导轨21朝向所述框架的端面，所述第一光栅尺25设置在所述第一气浮导轨21上； 所述反力测量装置3包括第二气浮导轨31、第三光阑组件32、第四光阑组件33、第三阻尼器34、第二支撑架35、第二光栅尺36和阻尼转接板37，两个所述第二支撑架35分别设置在所述第二气浮导轨31的两端，并用于与所述框架连接，所述第三光阑组件32和所述第四光阑组件33设置在所述第二气浮导轨31上，用于沿所述第二气浮导轨31滑动，所述第三阻尼器34用于设置于所述第二气浮导轨朝向所述框架的端面，所述阻尼转接板37的一端与所述第三阻尼器34连接，另一端用于与所述框架连接，所述第二光栅尺36设置在所述第二气浮导轨31上； 其中，所述第一阻尼器11、所述第二阻尼器24和所述第三阻尼器34相同，所述第一光阑组件22和所述第三光阑组件32相同，所述第二光阑组件23和所述第四光阑组件33相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学，其通讯地址为：150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。