联测优特半导体(东莞)有限公司骆国泉获国家专利权
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龙图腾网获悉联测优特半导体(东莞)有限公司申请的专利半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510011742.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法是由骆国泉;江清华;王学东;陈龙设计研发完成，并于2025-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法，涉及半导体加工技术领域。本发明包括，对于不同数量状态下的系列特征点组合，分别将特征点组合内每个特征点的局部图像作为输入层，将对应的电性检测结果作为输出层，对检测模型进行训练至收敛得到检测模型，根据不同数量状态下的系列特征点组合内每个特征点的局部图像输入对应检测模型的输出层概率分布筛选出不同数量状态下的特征点组合；按照不同数量状态下的特征点组合提取得到待检测晶圆内每个芯片蚀刻区域的特异性特征点组合的局部图像输入对应的检测模型得到待检测晶圆内每个芯片蚀刻区域的电性预估结果。本发明提高了半导体视觉检测的速率。
本发明授权半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工质量视觉自动在线检测方法，其特征在于，包括， 获取晶圆内芯片蚀刻区域； 获取样本晶圆内芯片蚀刻区域的样本图像和电性检测结果； 对于每个芯片蚀刻区域， 分别根据每个样本图像的图像特征分析得到多个特征点， 对不同数量状态的特征点进行组合，得到不同数量状态下的系列特征点组合， 对于不同数量状态下的系列特征点组合，分别将特征点组合内每个特征点的局部图像作为输入层，将对应的所述电性检测结果作为输出层，对检测模型进行训练至收敛得到检测模型， 根据不同数量状态下的系列特征点组合内每个特征点的局部图像输入对应所述检测模型的输出层概率分布筛选出不同数量状态下的特征点组合； 获取待检测晶圆内芯片蚀刻区域的晶圆图像； 按照不同数量状态下的特征点组合提取得到待检测晶圆内每个芯片蚀刻区域的特异性特征点组合的局部图像输入对应的所述检测模型得到待检测晶圆内每个芯片蚀刻区域的电性预估结果。
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