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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利扫描电子显微镜图像的图形分组方法与相关产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905416B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411981479.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权扫描电子显微镜图像的图形分组方法与相关产品是由田亦农;包达文;武婵媛;鄢昌莲设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本扫描电子显微镜图像的图形分组方法与相关产品在说明书摘要公布了：本发明提供了一种扫描电子显微镜图像的图形分组方法与相关产品。其中上述方法包括：获取待分组的扫描电子显微镜图像以及与扫描电子显微镜图像对应的设计版图；对扫描电子显微镜图像中的图形进行轮廓提取，得到包括多个图形轮廓的图像整体轮廓；建立图形轮廓与设计版图中设计图形的对应关系；按照设计图形的特征值对图形轮廓进行分组。本发明能够利用设计版图中的设计图形与扫描电子显微镜图像中图形轮廓的一一对应关系，并利用设计图形的特征值进行分组，而不直接利用图形轮廓自身特征进行分组，实现了对图形轮廓的自动分组，解决了手动分组效率低的问题。

本发明授权扫描电子显微镜图像的图形分组方法与相关产品在权利要求书中公布了：1.一种扫描电子显微镜图像的图形分组方法，其特征在于，包括： 获取待分组的扫描电子显微镜图像以及与所述扫描电子显微镜图像对应的设计版图； 对所述扫描电子显微镜图像中的图形进行轮廓提取，得到包括多个图形轮廓的图像整体轮廓； 建立所述图形轮廓与所述设计版图中设计图形的对应关系； 按照所述设计图形的特征值对所述图形轮廓进行分组； 在所述的按照所述设计图形的特征值对所述图形轮廓进行分组的步骤之前，还包括： 获取所述图像整体轮廓中需要进行分组的图形轮廓； 根据所述对应关系确定需要进行分组的图形轮廓对应的设计图形； 所述按照所述设计图形的特征值对所述图形轮廓进行分组具体为按照需要进行分组的图形轮廓对应的设计图形的特征值对需要进行分组的图形轮廓进行分组； 所述的获取所述图像整体轮廓中需要进行分组的图形轮廓的步骤包括： 将所述图形轮廓和对应的所述设计图形重叠在一起； 判断所述图形轮廓是否完全处于对应的所述设计图形内； 若是，确定该所述图形轮廓为需要进行分组的图形轮廓。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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